1、簡介
由于受到觸針針尖半徑等的影響，觸針式表面輪廓儀橫向分辨率受到限制，對于峰峰值很小的表面，觸針很難伸到谷底，測得的輪廓失真嚴重。而且由于接觸測量，鋒利的針尖會劃傷測量表面，同時觸針使用一段時間后會產(chǎn)生磨損，都會使測量結(jié)果不可靠。因此非接觸測量成為表面測量的一個重要方向。
干涉顯微鏡自上世紀至今一直是非接觸測量高等級表面粗糙度的主要儀器。上海光機廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國內(nèi)市場上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過在它基礎(chǔ)上發(fā)展起來的垂直掃描干涉顯微鏡近年來得到廣泛的應用。如美國VEECO公司的Wyko NT系列光學輪廓儀，Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學輪廓儀等。國內(nèi)市場幾乎被國外公司壟斷。
2、主要特點
WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測量儀在6JA干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上改造而成。
1） 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評定功能。
2） 可通過單幅圖像原理，獲取二維參數(shù)及曲線。
3） 垂直掃描由自主設(shè)計的反鏡式垂直掃描工作臺完成，具有粗、精兩級，其垂直位移量由衍射光柵干涉計量，工作臺具有大量程高特征。
4 ）可以用兩種方法測量表面三維參數(shù)及圖形：
（1）對峰谷高度小于 的表面，可采用相移法測量，其分辨率小于1nm
（2）對峰谷高度大于 的表面，可采用垂直位移掃描測量，其分辨率約為3nm，測量峰谷高度可達40um。
5） 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測量。測量分辨率達5nm。
6）由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡，調(diào)試與6JA大部分相同，熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。
3、技術(shù)指標
垂直測量范圍 0～50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65
垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍
測量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm?
光學分辨率 0.5 CCD有效像素 752X582
表面反射率 0.3％～100％
測量時間 二維：1～5秒
三維：15～30秒
注： 顯微鏡為基本配置，若需擴大視場或提高光學分辨率，可配置相應的顯微鏡，但需特殊訂貨。
4、儀器構(gòu)成
1、寬帶光干涉儀（改進的6JA干涉顯微鏡）
2、垂直位移掃描工作臺
3、攝像及圖像處理系統(tǒng)
4、工控機
5、用途
主要用來測量二、三維表面粗糙度、臺階、溝槽高度和表面輪廓尺寸，適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測量，工程表面的科學研究，以及中高等學?！盎Q性與測量技術(shù)基礎(chǔ)” 、“精密測量技術(shù)”、“機械制造工藝”等課程的實驗
由于受到觸針針尖半徑等的影響，觸針式表面輪廓儀橫向分辨率受到限制，對于峰峰值很小的表面，觸針很難伸到谷底，測得的輪廓失真嚴重。而且由于接觸測量，鋒利的針尖會劃傷測量表面，同時觸針使用一段時間后會產(chǎn)生磨損，都會使測量結(jié)果不可靠。因此非接觸測量成為表面測量的一個重要方向。
干涉顯微鏡自上世紀至今一直是非接觸測量高等級表面粗糙度的主要儀器。上海光機廠生產(chǎn)的6JA干涉顯微鏡是國內(nèi)市場上的主要產(chǎn)品。6JA干涉顯微難以滿足科技不斷發(fā)展的需要。不過在它基礎(chǔ)上發(fā)展起來的垂直掃描干涉顯微鏡近年來得到廣泛的應用。如美國VEECO公司的Wyko NT系列光學輪廓儀，Taylor-Hobson公司的CCI工藝光學輪廓儀等。國內(nèi)市場幾乎被國外公司壟斷。
2、主要特點
WIVS—1型垂直掃描白光干涉輪廓測量儀在6JA干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上改造而成。
1） 保留原顯微鏡人工讀數(shù)、評定功能。
2） 可通過單幅圖像原理，獲取二維參數(shù)及曲線。
3） 垂直掃描由自主設(shè)計的反鏡式垂直掃描工作臺完成，具有粗、精兩級，其垂直位移量由衍射光柵干涉計量，工作臺具有大量程高特征。
4 ）可以用兩種方法測量表面三維參數(shù)及圖形：
（1）對峰谷高度小于 的表面，可采用相移法測量，其分辨率小于1nm
（2）對峰谷高度大于 的表面，可采用垂直位移掃描測量，其分辨率約為3nm，測量峰谷高度可達40um。
5） 可用于0-5mm范圍內(nèi)的尺寸測量。測量分辨率達5nm。
6）由于采用目前使用廣泛的6JA干涉顯微鏡，調(diào)試與6JA大部分相同，熟悉6JA干涉顯微鏡使用的人可方便使用該儀器。
3、技術(shù)指標
垂直測量范圍 0～50 顯微鏡數(shù)值孔徑 0.65
垂直分辨率 0.5nm 顯微鏡放大倍數(shù) 40倍
測量區(qū)域 0.25 mm 顯微鏡工作距離 2mm?
光學分辨率 0.5 CCD有效像素 752X582
表面反射率 0.3％～100％
測量時間 二維：1～5秒
三維：15～30秒
注： 顯微鏡為基本配置，若需擴大視場或提高光學分辨率，可配置相應的顯微鏡，但需特殊訂貨。
4、儀器構(gòu)成
1、寬帶光干涉儀（改進的6JA干涉顯微鏡）
2、垂直位移掃描工作臺
3、攝像及圖像處理系統(tǒng)
4、工控機
5、用途
主要用來測量二、三維表面粗糙度、臺階、溝槽高度和表面輪廓尺寸，適用于工礦企業(yè)工程表面粗糙度測量，工程表面的科學研究，以及中高等學?！盎Q性與測量技術(shù)基礎(chǔ)” 、“精密測量技術(shù)”、“機械制造工藝”等課程的實驗
