Alicat 隆重推出款雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制流經(jīng)氣體的流量，或用于控制密閉系統(tǒng)內(nèi)的流量而無需額外排氣閥。通用的流量控制器：雙向測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度控制來自壓縮氣體或真空泵的氣體的質(zhì)量流量或體積流量控制流經(jīng)氣體的壓力或背壓控制密閉系統(tǒng)內(nèi)壓力(自帶排氣)22系列亦有 腐蝕型號和 低壓損型號可選。產(chǎn)品參數(shù)：可控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的滿量程的任何流量，量程可調(diào)比為200：1&重復(fù)性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)   (注：該處F.S.為雙向滿量程之和)控制響應(yīng)時間：＜100毫秒入口壓力：145 Psig (22 & 腐蝕型號)、50 Psig (低壓損型號)2.1″ 英寸單色數(shù)字顯示屏(可選配TFT背光彩色顯示屏)兼容氣體列表下列30種氣體均含標(biāo)定曲線圖，兼容于標(biāo)準(zhǔn)的Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器，用戶可通過面板操作直接切換氣體，無需因改變氣體而重新標(biāo)定設(shè)備。Air – 空氣 Ne – 氖氣 C-25 – 75% 氬氣 + 25% 二氧化碳Ar – 氬氣 O2 – 氧氣 C-10 – 90% 氬氣 + 10% 二氧化碳CH4 – 甲烷 C3H8 – 丙烷 C-8 – 92% 氬氣 + 8% 二氧化碳CO – 一氧化碳 N-H10 – 正丁烷 C-2 – 98% 氬氣 + 2% 二氧化碳CO2 – 二氧化碳 C2H2 – 乙炔 C-75 – 75% 二氧化碳 + 25% 氬氣C2H6 – 乙烷 C2H4 – 乙烯 A-75 – 75% 氬氣 + 25% 氦氣H2 – 氫氣 I-H10 – 異丁烷 A-25 – 75% 氦氣 + 25% 氬氣He – 氦氣 Kr – 氪氣 A1025 – 90% 氦氣 + 7.5% 氬氣 + 2.5% 二氧化碳 (Helistar A1025)N2 – 氮?dú)?span> Xe – 氙氣 Star29 – 90% 氬氣 + 8% 二氧化碳 + 2% 氧氣 (Stargon CS)N2O – SF6 – 六氟化硫 P-5 – 95% 氬氣 + 5% 甲烷