| 品牌 | LINE TECH氣體質(zhì)量流量控制器 | 型號 | M2030VA質(zhì)量流量計(jì) |
| 種類 | 流量 | 材料 | 混合物 |
| 材料物理性質(zhì) | 半導(dǎo)體 | 材料晶體結(jié)構(gòu) | 多晶 |
| 制作工藝 | 薄膜 | 輸出信號 | 開關(guān)型 |
M2030VA M2030VA質(zhì)量流量計(jì) LINE TECH質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量計(jì)
LINE TECH自1997年成立后邁進(jìn)了氣體控制相關(guān)技術(shù)工程，終于誕生出今天的M系列，MFC/MFM產(chǎn)品。
LINE TECH氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
主要參數(shù)：
流量范圍： 10-30(slpm)
響應(yīng)時(shí)間： ≤2
精 度： ≤1%
重 復(fù) 性： ±0.25
輸出信號： 0-5vdc或4-20mA
供電電壓： 15-28vdc 350mA
溫度范圍： 0-50℃
漏 率： 1×10負(fù)9次方atm.cc/sec
使用范圍： 2-100% for max range
相關(guān)型號：
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
M2030V M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A
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