DPS雙面探針臺(tái)

雙面探針臺(tái)主要適用于所測(cè)樣品需雙面點(diǎn)針的相關(guān)電學(xué)測(cè)試，DPS點(diǎn)針?lè)绞綖?span lang="EN-US">(Up/Down)上下點(diǎn)針；

另外，我公司針對(duì)于雙面探針臺(tái)點(diǎn)針?lè)绞教匮邪l(fā)LR系列產(chǎn)品（L/R）左右點(diǎn)針解決方案；

一、基本配置信息

1.探針臺(tái)本體

* 4”、6“、8“真空吸附卡盤(pán)

* 滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)卡盤(pán)裝置

* X,Y 行程：150mm(可根據(jù)需求選擇其它范圍)

* 精密推拉裝盤(pán)裝置

* 手動(dòng)卡盤(pán)360度調(diào)整

* 顯微鏡X,Y,Z平臺(tái)移動(dòng)行程25mm(可根據(jù)需求選擇其它范圍)

2.DC 探針座 Probe Head(可選其它或高頻應(yīng)用探針座)
* 外型尺寸：70 x 50mm
* X,Y行程：12mm
* Z行程：8mm
* ：1um
* 仰角調(diào)節(jié)裝置
* 吸附方式：磁開(kāi)關(guān)吸附（真空吸附可選）

3.高倍率顯微鏡系統(tǒng)(可選其它倍率光學(xué)顯微鏡)

* 放大倍率 1X-500X

注：可選更高倍率物鏡，如：100X物鏡，即總倍率1000X

* 光源光纖傳導(dǎo)：1.5m

* 鹵素?zé)艄庠矗?span lang="EN-US">100W或更高

* CCD C-mount國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)接口

* 目鏡：WF10X/24，視場(chǎng)直徑 24mm，獨(dú)立矯正色差

* 物鏡：10X , 20X, 50X，100X

* 雙目頭：瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm

* 上主體：分光比為50:50或0:100

* 管鏡：1X NUV/VIS