儀器簡介：
技術參數(shù)：
主要特點：
DYCOR質(zhì)譜儀可以測量從高真空直至大氣壓很寬壓力范圍的氣體樣品.針對不同的研究,有多種離子源(開放式,流導限制式,封閉式)和多種進樣系統(tǒng)可選;質(zhì)量數(shù)測量范圍(1-100AMU/1-200AMU/1-300AMU)也可根據(jù)需要選擇.
適用的應用領域有:
真空和超高真空殘余氣體分析(如分子束外延,離子注入)
真空系統(tǒng)檢漏
PVD/CVD/刻蝕/磁控濺射殘余氣體分析
催化研究
發(fā)酵尾氣
技術參數(shù)：
質(zhì)量數(shù)測量范圍：1-100AMU/1-200AMU/1-300AMU
壓力范圍：從大氣壓直到高真空
小可檢分壓：法拉第筒 5*10-12Torr;電子倍增器5*10-14Torr
分辨率：0.5AMU（10%峰高）
發(fā)射電流：0.1-10mA;脫氣時50mA
電子能量:30-150V; 脫氣時200V
離子能量:1-10V
靈敏度:法拉第筒 2*10-14A/Torr,測量條件是N2+,峰寬為0.5AMU,10%峰高,燈絲發(fā)射電流1mA
穩(wěn)定性: 質(zhì)量數(shù):±0.1AMU(30分鐘預熱);峰高:±2%(30分鐘預熱)
主要特點：
在線測量氣體組分
分析速度快,尤其與色譜等分析方法相比
四極桿參數(shù)自動優(yōu)化,確保數(shù)據(jù)可靠,重復性好;
軟件有實時計算功能
軟件支持腳本功能,實現(xiàn)自動控制
軟件內(nèi)置譜庫,幫助確認組分
軟件有演示模式,方便用戶熟悉軟件和編輯方法
多個模擬量/數(shù)字量輸入/輸出可選
各種質(zhì)量分析器的電路控制單元可互換
