檢測(cè)器工作原理
作為載氣的高純氬氣以一定流速流經(jīng)處在高頻振蕩電磁場(chǎng)中的石英管時(shí)，在管外施加1500V高電壓，
使石英管內(nèi)氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場(chǎng)振蕩下運(yùn)動(dòng)，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自
由程能量，因而氬原子在管內(nèi)被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體，并且氬原子受
激發(fā)放電產(chǎn)生弧光。當(dāng)被測(cè)氣體經(jīng)分離柱后進(jìn)入檢測(cè)器中時(shí)，由于性氣體雜質(zhì)的分子N2，H2，CH4
等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發(fā)后產(chǎn)生增強(qiáng)弧光。所產(chǎn)生光的強(qiáng)度變化與被測(cè)成分濃度成正比，
故可以借此進(jìn)行雜質(zhì)定量分析。此種檢測(cè)器被稱為高頻氬放電檢測(cè)器，如圖1所示。
技術(shù)數(shù)據(jù)
型號(hào) | AGC100HFADD |
廠家 | 愛(ài)爾蘭AGC儀器有限公司 |
HFADD檢測(cè)器 | 靈敏度：H2<15ppb |
線性范圍：＞103 | |
柱箱溫度范圍 | 室溫～250℃ |
程序升溫 | ＜±1％ |
載氣 | 超純氬 ＞99.999% |
放電氣體 | 超純氬 ＞99.999% |
驅(qū)動(dòng)氣 | 清潔干燥空氣 |
電源要求 | 220V，50/60Hz |
色譜工作溫度 | 10~40℃ |
樣品氣進(jìn)口連接方式 | 1/8″VCR |
安裝方式 | 臺(tái)式572mm W x 508mm H x 559mm D |
氬中各組分的檢測(cè)限：
| 組分名 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 |
| 檢測(cè)限（ppb） | <15 | <75 | <100 | <30 | <100 | <100 |
色譜流程圖
分析譜圖
