ORION™顯微鏡的基礎(chǔ)是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個原子發(fā)出的，極其明亮的氦離子束克服了衍射和能量擴(kuò)展的限制，正是衍射和能量的擴(kuò)展影響了電子束在掃描電鏡中的應(yīng)用。
這就意味著ORION顯微鏡擁有一個非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一個大大縮小了的相互作用區(qū)里，獨(dú)特的氦離子束和樣品的動力學(xué)結(jié)果貢獻(xiàn)了更高的分辨率和內(nèi)涵豐富的襯度機(jī)制
ORION™顯微鏡也可以使用背散射氦離子成像，具有很強(qiáng)元素襯度的這種技術(shù)，提供了在樣品表面區(qū)分不同材料的能力
ORION™顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學(xué)、表面和次表面信息，這種技術(shù)的另一個好處是在絕緣樣品上的卓越性能。
一流的材料襯度
超高分辨率
廣泛的分析信息
簡單的樣品制備
離子源工作穩(wěn)定、長壽命
ORIONTM基本規(guī)格
分辨率 0.75 nm @ 45 kV @工作距離4 mm
1.0 nm @ 30 kV @工作距離4 mm
2.5 nm @ 10 kV @工作距離4 mm
放大倍數(shù) 100x - 1,000,000x
視野 1 mm - 100 nm
離子束 1 pA時<1 nm
離子束電流1 fA - 25 pA
離子源 氦氣體場離子源
壽命 > 1000 小時
離子源電動對中
樣品室 體積 400 mm3
基本真空度 2x10-7 Torr
接口板可定制
載物鎖
圖像探測器 Everhart-Thornley二次電子探測器
微通道板（選配）
透射電子探測器（選配）
樣品臺 5軸電動樣品臺，X、Y軸行程50 mm，Z軸行程12 mm，360º 旋轉(zhuǎn)，0º到45º傾斜
真空系 統(tǒng) 無油無微粒低真空泵設(shè)計
磁懸浮渦輪分子泵
攝像機(jī) 三臺監(jiān)控攝像機(jī)——離子源觀察、樣品臺觀察、樣品室觀察
用戶界面 兩臺20英寸平板顯示器
圖像2048 x 2048像素
系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能
技術(shù)參數(shù)：
| 分辨率 | 0.75 nm @ 45 kV @工作距離4 mm 1.0 nm @ 30 kV @工作距離4 mm 2.5 nm @ 10 kV @工作距離4 mm |
| 放大倍數(shù) | 100x - 1,000,000x |
| 視野 | 1 mm - 100 nm |
| 離子束 | 1 pA時<1 nm 離子束電流1 fA - 25 pA |
| 離子源 | 氦氣體場離子源 壽命 > 1000 小時 離子源電動對中 |
| 樣品室 | 體積 400 mm3 基本真空度 2x10-7 Torr 接口板可定制 載物鎖 |
| 圖像探測器 | Everhart-Thornley二次電子探測器 微通道板（選配） 透射電子探測器（選配） |
| 樣品臺 | 5軸電動樣品臺，X、Y軸行程50 mm，Z軸行程12 mm，360º 旋轉(zhuǎn)，0º到45º傾斜 |
| 真空系 統(tǒng) | 無油無微粒低真空泵設(shè)計 磁懸浮渦輪分子泵 |
| 攝像機(jī) | 三臺監(jiān)控攝像機(jī)——離子源觀察、樣品臺觀察、樣品室觀察 |
| 用戶界面 | 兩臺20英寸平板顯示器 圖像2048 x 2048像素 系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能 |
主要特點：
一流的材料襯度
超高分辨率
廣泛的分析信息
簡單的樣品制備
離子源工作穩(wěn)定、長壽命
