VEGA 3 EasyProbe可分為高真空型和可變真空型，其運(yùn)用的領(lǐng)域非常廣泛，適合各類高等院?；蚬具x擇。EasyProbe是SEM/EDS一體化機(jī)型，實(shí)現(xiàn)了One-Touch式的操作，使得操作非常簡單，甚至沒有經(jīng)驗(yàn)的人員也可以在一天內(nèi)學(xué)會操作。此外，EasyProbe可以說是性價(jià)比的一款SEM/EDS一體機(jī)，軟件配置完整，硬件延續(xù)原有的VEGA并得到進(jìn)一步發(fā)展，是值得信賴的一款SEM/EDS一體機(jī)。
技術(shù)參數(shù)：
SEM
1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
2.放大倍數(shù):4.5 to×
3.真空系統(tǒng):高真空<9*10 -3Pa，
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流1pA—20uA
6.樣品室內(nèi)部直徑：160mm
7.樣品臺行程:
3軸馬達(dá)控制
X=45mm——馬達(dá)控制
Y=45mm——馬達(dá)控制
Z=27mm——手動控制
Z'=6mm——手動控制
R=360°連續(xù)馬達(dá)控制
T=-90°至 90°手動
樣品高度36mm.
EDS
分辨率： 133eV(Mn Kα) at 100,000cps
探頭類型： XFlash TM Detector 410 M, 有效面積 10mm2
探頭窗口： SLEW，探測元素從B(5)到Am(95)
探頭冷卻： Peltier couple (無需液氮)
輸入計(jì)數(shù)率： 150kcps
定量： 無標(biāo)樣 PB-ZAF
主要特點(diǎn)：
VEGA 3 EasySEM可以觸摸屏進(jìn)行控制和操作，具有所有圖像操作和處理功能以及一鍵式EDX分析工具欄。 當(dāng)一鍵式EDX工具被激活時(shí)，系統(tǒng)顯示實(shí)時(shí)SEM圖片上選定區(qū)域的定量分析結(jié)果。
系統(tǒng)根據(jù)用戶的技能水平可分為3個(gè)等級對電鏡進(jìn)行控制。電鏡的所有功能都由觸摸屏或鍵盤，鼠標(biāo)和軌跡球或者選配的控制臺通過Window™平臺上的VegaTC軟件控制。
