OPEN SYS系列全開放的顯微測試加工平臺
多功能開放式掃描探針顯微鏡系統(tǒng)（簡稱“開放系統(tǒng)”）是本原在十五年的技術(shù)積累和經(jīng)驗提煉的基礎(chǔ)上所推出的換代產(chǎn)品。
開放系統(tǒng)使科學(xué)工作者能夠?qū)x器進(jìn)行必要的監(jiān)控或改造，以滿足自身科學(xué)研究的特殊需要。用戶既可以把它當(dāng)作一臺檢測儀器，又可以把它當(dāng)作進(jìn)行非常規(guī)試驗和二次開發(fā)的實驗平臺。
技術(shù)參數(shù)：
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■單一探頭的多功能平臺結(jié)構(gòu)，集成掃描隧道、原子力、摩擦力和靜電力 顯微鏡功能，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等
■獨(dú)特的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識別技術(shù)，全數(shù)字控制的 參數(shù)設(shè)置和采集
■數(shù)字控制反饋回路，16-bit分辨的A/D和D/A
■采用單一的外觸發(fā)時基和高速緩存，實現(xiàn)多通道信號的高速同步采集
■采用基于TCP/IP協(xié)議的高速通信接口，實現(xiàn)雙處理器——雙操作系統(tǒng)的 協(xié)同工作和大容量高速數(shù)據(jù)交換，使系統(tǒng)具有極大的開放性
■系統(tǒng)內(nèi)部預(yù)留多個可供輸入/輸出信號的處理通道，具有方便的擴(kuò)展能力
■系統(tǒng)外部預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)開放接口，滿足用戶對儀器進(jìn)行二次開發(fā)的需求
■具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能
■具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術(shù)
■具備超媒體用戶界面的納米操縱工具
■用戶控制端軟件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP操作系統(tǒng)
■分析處理軟件在數(shù)據(jù)類型識別方面采用固定編碼和動態(tài)編碼兩種技術(shù)， 實現(xiàn)系統(tǒng)的開放性和可擴(kuò)展性
■掃描區(qū)域多種分辨率選擇及高度、對比度的實時調(diào)整，可連續(xù)采集、存儲和重現(xiàn)動態(tài)過程
■實時定點測試功能
■方便的鼠標(biāo)控制掃描區(qū)域平移、剪切功能，掃描角度連續(xù)可調(diào)，多種樣 品傾斜度實時校正功能
■樣品粒度和粗糙自動分析功能
性能指標(biāo)
■分辨率：
STM：橫向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定標(biāo)）
AFM：橫向 0.26nm 垂直 0.1nm （以云母定標(biāo)）
■電流檢測靈敏度：≤10pA
■力檢測靈敏度： ≤1nN
■空間定位： ≤0.5nm
■預(yù)留輸出信號通道數(shù)：6ch （1ch±200V，5ch±10V，16-bit DAC）
■預(yù)留輸入信號通道數(shù)：16ch （100kHz采樣率，16-bit ADC， 帶可控低通濾波器和可控增益放大器）
■預(yù)留頻率合成輸出： 2ch （振幅為0～2V；頻率為DC～1000kHz，32-bit分辨）
主要特點：
與國外或本原以往研制的產(chǎn)品相比，開放系統(tǒng)顯著的特點就是其多功能性和開放性。
