上海沁益汽配有限公司
免企業(yè)未認證證營業(yè)執(zhí)照未上傳
掃一掃
進入手機店鋪
咨詢電話SERVICE LINE
021-61725522
15000604800
掃一掃
進入手機店鋪
掃一掃
進入手機店鋪
壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。
硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量、較低的功耗和極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應(yīng)變片電橋的光刻版本如圖2。
MEMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，采用MEMS技術(shù)直接將四個高精密半導體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量能達0.01-0.03%FS?！?/p>
電容式壓力傳感器利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即△壓力=△電容量。
