FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型
集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的檢查。
觀察樣品:ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。 觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）； 使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，徹底消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮； 物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求； 主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能； 光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞；
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L300ND/反射.透射照明兩用型
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規(guī)格 | ||
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ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
| 主機 |
內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠?；?nèi)置用于電動控制器的電源 | |
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物鏡轉(zhuǎn)換器：具備物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
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反射/透射切換器 | |
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調(diào)焦部分 |
對焦部:行程29mm | |
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反射照明部 |
12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置 | |
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透射照明部 |
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12W50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置 |
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接口 |
USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 | |
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鏡筒 |
L2-TTA超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒（視角0～30°） | |
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目鏡 |
CFI目鏡 | |
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物鏡 |
CFI60系列物鏡 | |
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載物臺 |
14x12載物臺、行程354mmx302mm（透射觀察范圍：354mmx268mm） | |
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防靜電功能 |
從1000到10V放電時間在0.2秒以內(nèi) | |
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耗電 |
1.2A/90W | |
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尺寸 |
約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時） | |
