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ET9000系列電輸運性質(zhì)測量系統(tǒng)
ET9000系列電輸運性質(zhì)測試系統(tǒng)是集霍爾效應、磁阻、I-V特性等測試于一體的全自動化測試系統(tǒng)。系統(tǒng)全面地考慮了儀表配置、電路接線（包括室溫和低溫的接線）等用戶經(jīng)常忽略的問題，選取了美國Keithley的電測量儀表，磁場根據(jù)用戶需要采用電磁鐵或無液氦超導磁體， 配備靈巧的測量樣品桿，加上全自動化的專用測試軟件，能讓用戶快速方便地進行樣品測試，并獲得準確可靠的數(shù)據(jù)。 此外、系統(tǒng)還有多種低溫選件，并可以根據(jù)用戶現(xiàn)有的儀表和對軟件的特殊要求進行特殊改造， 是廣大科研工作者對樣品進行電輸運性質(zhì)研究的有力工具。
基本配置組成：
一、 測量儀表部分
Ø 標準系統(tǒng)： 美國Keithley公司的2400電流表、2700萬用表、7709矩陣卡以及接口適配器和GPIB電纜等。
Ø 高阻系統(tǒng)：美國Keithley公司的6220電流表、 2182A 納伏表、6485皮安計、 6514靜電計、7001開關(guān)盒、7152矩陣卡以及相應的連接電纜、接口適配器和GPIB電纜等。
二、 磁場組成部分
Ø 電磁鐵系統(tǒng)：
Mini電磁鐵+ HP1型高穩(wěn)定性雙極電磁鐵電源，高斯計
EM5電磁鐵+7050型高穩(wěn)定性雙極電磁鐵電源，高斯計及水冷系統(tǒng)
EM7電磁鐵+9060型高穩(wěn)定性雙極電磁鐵電源，高斯計及水冷系統(tǒng)
EM10電磁鐵+65135型高穩(wěn)定性雙極電磁鐵電源，高斯計及水冷系統(tǒng)
Ø 超導磁體系統(tǒng)：英國Cryogenic公司5T～18T無液氦超導磁體系統(tǒng)， 水冷系統(tǒng)
三、 系統(tǒng)輔助部分
Ø 測試總成：包括樣品桿及支架總成、 樣品盒模塊、樣品卡和連接測試電纜等；
Ø 儀表安裝柜、高性能電腦和液晶顯示器；
Ø 東方晨景電輸運性質(zhì)測量專用軟件；
Ø 安裝和操作使用手冊等。
主要特點:
Ø 標準系統(tǒng)使用插入式樣品夾具，樣品安裝方便；
Ø 基本配置多可以加裝四個樣品， 并同時可以對兩個樣品進行測試；
Ø 標準系統(tǒng)隨機配送一個探針樣品卡；
Ø 標準系統(tǒng)可以進行不同磁場下的霍爾效應、I-V特性的測量；
Ø 電阻測量范圍寬：0.1mΩ—50GΩ（高阻系統(tǒng)），測量的不確定度為2%；
Ø 測試過程和計算過程由軟件自動執(zhí)行，節(jié)省了大量的時間；
Ø 軟件可以顯示測量結(jié)果和測量曲線；
Ø 系統(tǒng)磁場采用閉環(huán)控制，可以提供高穩(wěn)定性的磁場， 同時解決了磁鐵剩磁問題，實現(xiàn)真正的零磁場；
Ø 選擇變溫選件，可以進行不同溫度下的霍爾效應測量和I-V特性測量。
可測試材料:
² 半導體材料：
Si、Ge、GaAs、GaN、AlGaAs、CdTe、HgCdTe、CdTe、ZnO、SiC、GeSi、InP、MCT等，以及弱磁半導體和稀磁半導體的薄膜及塊材；
² 鐵氧體材料；
² 低阻抗材料：金屬、透明氧化物、弱磁性半導體材料、TMR材料等。
基本功能:
u 可以進行霍爾效應、I-V特性（電阻率）及磁電阻（MR）的測量；
u 可得出參數(shù)：霍爾效應——方塊電阻、電阻率、霍爾系數(shù)、導電類型、霍爾遷移率、載流子濃度；
u I-V特性的MR的特性曲線包括：
Ø 不同磁場下的I-V特性曲線
Ø 不同溫度下的I-V特性曲線
Ø 不同磁場下的變溫I-V特性曲線
Ø 不同溫度下的變磁場I-V特性曲線
Ø 電阻隨溫度、磁場變化的特性曲線
Ø P-B曲線
主要技術(shù)指標:
u
樣品尺寸：
1）小尺寸雙面樣品卡，面積為12× 12mm
2（隨機配送10個）；
2）大尺寸單面樣品卡，面積為50× 50mm
2（隨機配送10個）；
3）探針樣品卡，可測樣品尺寸范圍：1× 1mm
2, , ～30× 30mm
2（隨機配送1個）。
u
樣品的接線方式：
1）霍爾效應測量：
Van der Pauw；
Hall bar 1-2-2-1；
Hall bar 1-3-1-1；
Hall bar 1-3-3-1；
2）I-V特性和磁電阻測量： 直列四點法
u
樣品接線方式：4線法或6線法
u
溫度環(huán)境（標準系統(tǒng)不帶變溫選件，只能進行室溫下的測量）：
無液氦超導磁體系統(tǒng)（系統(tǒng)自帶低溫選件， 不用單獨選擇）：1.6K～325K
液氮恒溫器選件：
標準液氮恒溫器： 80K～325K
高溫型液氮恒溫器： 80K～500K
循環(huán)制冷機選件（不消耗液氦/液氮等制冷劑）：
標準4K制冷機系統(tǒng)： 4K~325K
高溫4K制冷機系統(tǒng)： 4K~500K
高溫4K制冷機系統(tǒng)： 4K~700K
標準10K制冷機系統(tǒng)： 10K~325K
高溫10K制冷機系統(tǒng)： 10K~500K
高溫10K制冷機系統(tǒng)： 10K~700K
微型制冷機系統(tǒng)：45K~325K
u
磁場環(huán)境：
1）Mini型電磁鐵： 6000G@23毫米
2）EM5型電磁鐵（ET-9005或ET9105型）
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極柱直徑
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127mm（5英寸）
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極頭直徑
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60mm
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磁場間隙
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室溫
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小制冷機
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CCS制冷機
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液氮恒溫器
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22mm
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24mm
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40mm
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24mm
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磁感應強度
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1.8T(18kGs)
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1.7T(17kGs)
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1.1T(11kGs)
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1.7T(17kGs)
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均勻度
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±1%
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3）EM7型電磁鐵（ET-9007或ET9107型）
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極柱直徑
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178mm（7英寸）
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極頭直徑
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76mm
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磁場間隙
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室溫
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小制冷機
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制冷機
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液氮恒溫, 器
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22mm
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24mm
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40mm
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24mm
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磁感應強度
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2.1T(21kGs)
2.0T(20kGs)
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1.5T(15kGs)
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2.0T(20kGs)
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均勻度
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±1%
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4）EM10型電磁鐵（ET-9010或ET9110型）
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極柱直徑
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250mm（10英寸）
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極頭直徑
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76mm
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磁場間隙
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室溫
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小制冷機
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制冷機
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液氮恒溫器
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22mm
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24mm
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40mm
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24mm
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磁感應強度
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2.4T(24kGs)
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2.3T(23kGs)
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2.0T(20kGs)
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2.3T(23kGs)
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均勻度
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±1%
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5)CFM無液氦超導磁體（ET9000CFM-X或ET9100CFM-X型）
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樣品腔直徑
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25mm
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磁場均勻區(qū)高度
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50mm
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磁場范圍
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5T
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6T
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7T
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8T
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9T
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10T
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11T
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12T
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13T
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14T
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15T
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16T
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17
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18T
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變溫范圍
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1.6K～325K
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磁場均勻度
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±0.1%直徑為 10mm的球體內(nèi)
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u
主要電性指標
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標準系統(tǒng)
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高阻系統(tǒng)
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電壓范圍
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200V
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100V
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電流范圍
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±10nA到± 1A
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±100fA到± 1A
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阻值范圍
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Van der Pauw： 40mΩ到 20MΩ
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Van der Pauw：0.4mΩ到50GΩ
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Hall bar： 10mΩ到20MΩ
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Hall bar： 0.1mΩ到50GΩ
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u
軟件界面
訂貨信息:
1、 阻值范圍選擇：
標準系統(tǒng)：ET9000系列
高阻系統(tǒng)：ET9100系列
2、 磁場選擇：
標準系統(tǒng)：ET9001 ET9005、ET9007、ET9010、ET9000CFM-X（X： 0～18T之間選擇）
高阻系統(tǒng)：ET9105、ET9107、ET9110、ET9100CFM-X（X：0～18T之間選擇）
3、 溫度范圍選擇：
液氮恒溫器： CME-15（80K~325K）；
CME-15H（80K～500K）
制冷機： CCS-350S； CCS-350ST（10K~325K，可配500K、800K高溫選件）
CCS-300S/202；CCS-300ST/202（11K~325K，可配500K、800K高溫選件）
CCS-300S/204；CCS-300ST/204（10K~325K，可配500K、800K高溫選件）
CCS-300S/204N；CCS-300ST/204N （7K~325K，可配500K、800K高溫選件）
SHI-4S-1；SHI-4ST-1（4K～325K，可配500K、800K高溫選件）
SHI-4S-5；SHI-4ST-5（4K～325K，可配500K、800K高溫選件）
MinCool-1（臺式小型閉循環(huán)制冷機，45K~325K）
4、其它選件：
LND-10-50液氮罐
LNP-101手動液氮泵
機械泵選件（包括相應的真空連接件）
分子泵組選件（包括相應的真空連接件）
