規(guī)格
一、測(cè)定工件：
1. 工件尺寸：φ
2. 工件厚度：
3. 工件重量：
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測(cè)定範(fàn)圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測(cè)定力：min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：
1. 移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng))：
2. 移動(dòng)的真直度：0.2μm/
3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.02 ~
4. 線(xiàn)性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移動(dòng)量：
2. 移動(dòng)速度：max
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件臺(tái)：
1. 工件臺(tái)尺寸：φ
2. 機(jī)械手動(dòng)傾斜： ±
六、工件觀察：max.110 倍(可選購(gòu)其它率CCD)
七、床臺(tái)：材質(zhì)為花崗巖石
八、振臺(tái)(選購(gòu))：落地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H
(不含震臺(tái))
