產(chǎn)品介紹
Verifire™ ATZCoherent Artifact SuppressionRing of Fire™點(diǎn)光源是Verifire™ AT激光干涉儀獲取清潔圖像的基礎(chǔ)，傳統(tǒng)的激光干涉儀用的是相干點(diǎn)光源，在測(cè)試腔中形成相干光。但是，點(diǎn)光源在光路中遇到細(xì)小顆粒時(shí)同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生寄生的干涉條紋（牛眼環(huán)）。的Ring of Fire™光源系統(tǒng)是只對(duì)光學(xué)腔產(chǎn)生干涉，而將干涉腔外的細(xì)小顆粒產(chǎn)生的干涉條紋遏制，整個(gè)干涉儀的性能得到增強(qiáng)，所測(cè)量的性能得到增強(qiáng)，所測(cè)量的結(jié)果更令人信服。高的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)需要的測(cè)量技術(shù)和方法，不需要具備操作簡(jiǎn)單和長(zhǎng)期穩(wěn)定的檢測(cè)設(shè)備和方法，同時(shí)更需要更品檢測(cè)的需求。ZYGO Verifire™激光干涉儀做的Ring of Fire™光源技術(shù)，消除了長(zhǎng)期困擾的“牛眼環(huán)”所帶來的測(cè)量上的影響，將測(cè)量到一個(gè)新的臺(tái)階，同時(shí)配備ZYGO自主開發(fā)的Metropro軟件，以及與傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件，真正使Verifire™激光干涉儀在、簡(jiǎn)易和穩(wěn)定基礎(chǔ)上新的高度?？梢哉f，ZYGO Verifire™激光干涉儀不是新一代的激光干涉儀，更是新的干涉測(cè)量技術(shù)的。
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