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SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻機(jī)/激光修阻機(jī)/激光調(diào)阻機(jī) 激光調(diào)組設(shè)備的產(chǎn)品特點(diǎn)： 調(diào)阻高：先進(jìn)的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束；四線制高速測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量時(shí)間僅為25us；擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補(bǔ)償功能； 調(diào)阻速度快：先進(jìn)的激光器擁有極高的重復(fù)頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國(guó)進(jìn)口掃描振鏡，掃描速度極快；高分步重復(fù)機(jī)構(gòu)，空氣軸承，移動(dòng)速度及加速度快； 可靠性高：整機(jī)配置器件均采用原裝進(jìn)口配置；采用花崗巖臺(tái)座，穩(wěn)定可靠； 功能強(qiáng)大：擁有溫度實(shí)時(shí)補(bǔ)償功能；同時(shí)具有激光劃片和打標(biāo)功能； 運(yùn)行及維護(hù)成本低廉：采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長(zhǎng)，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無(wú)須外置冷卻設(shè)備；操作簡(jiǎn)單，無(wú)須高額培訓(xùn)成本； 激光調(diào)組設(shè)備技術(shù)參數(shù)： 激光器系統(tǒng)： 激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器 激光波長(zhǎng)：1064/532/355nm 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355) 激光頻率：200Hz-50KHz 典型光斑尺寸：30μm 實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng)；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光小光斑達(dá)12μm 泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時(shí) 冷卻方式：風(fēng)冷 對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制 激光束定位系統(tǒng)： 激光束運(yùn)動(dòng)范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格） 點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)間：5ms（典型） 速度：7000mm/s 重復(fù)定位：2.5μm 激光束小步進(jìn)：0.76μm 圖像監(jiān)視系統(tǒng)： 監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視 放大倍數(shù)：>100倍 圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶 測(cè)量系統(tǒng)： 激勵(lì)方式：電流/電壓激勵(lì) 恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇 恒壓源：0~20V計(jì)算機(jī)程控選擇（可選其它電壓范圍） 電阻測(cè)量方式：四線制加電流測(cè)電壓 直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿程電壓） 調(diào)節(jié)對(duì)象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定 電阻測(cè)量：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω） 中阻：<0.05% 高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ） 電阻測(cè)量范圍：0.01Ω-500MΩ 電阻測(cè)量速度：25μs 直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下） 探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格） 探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制 計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)： 工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），17寸液晶 操作系統(tǒng)：Windows XP VB平臺(tái)開(kāi)發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強(qiáng)大 分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)： 運(yùn)動(dòng)XY范圍：290x260mm 運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm 定位：小于6μm（帶誤差補(bǔ)償） 重復(fù)定位：小于3μm 運(yùn)動(dòng)速度：900mm/s 具有溫度補(bǔ)償?shù)裙δ?/span> 非接觸溫度測(cè)量： 溫度測(cè)量：0.2℃ 調(diào)阻溫度修正：計(jì)算機(jī)程序控制 其它技術(shù)指標(biāo)： 供電電壓：220V AC 整機(jī)功耗：小于1000W 激光調(diào)組設(shè)備應(yīng)用和市場(chǎng)：主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、科研、片式電阻等行業(yè)。 SET3/1064/532/355，SFT3：激光微調(diào)機(jī)/激光修阻機(jī)/激光調(diào)阻機(jī)/激光刻阻機(jī) 激光調(diào)阻機(jī)的成功研制對(duì)推動(dòng)我國(guó)微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)起到重要作用。激光調(diào)阻機(jī)是利用激光技術(shù)對(duì)厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào)，以得到高的電阻值或精準(zhǔn)的輸出信號(hào)。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)全部擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，采用高質(zhì)量的激光源和精密的測(cè)量系統(tǒng)，空氣懸浮平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平，是取代進(jìn)口產(chǎn)品之。 應(yīng)用和市場(chǎng)： 主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，科研，片式電阻行業(yè)等。 公司名稱：武漢三工光電設(shè)備制造有限公司 公司地址：湖北武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園武大園四路 聯(lián)系人：余小姐
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