特點(diǎn)
• 大幅的驅(qū)動速度(X 軸: 80 mm/s, Z2 軸
立柱: 20mm/s) 進(jìn)一步減少了總的測量時(shí)
間。
• 為了長時(shí)間保持橫向線性規(guī)格，三豐公
司采用堅(jiān)硬的陶瓷導(dǎo)軌，既老化又
經(jīng)久。
• 驅(qū)動器 (X 軸) 和立柱 (Z2 軸) 均配備了高
線形編碼器 (其中Z2 軸上為ABS 型)。
因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、
對較難定位部件的重復(fù)測量的重復(fù)
得以。表面粗糙度測量
• 直線度: &plun;(0.05+0.001L)μm*
于需要高測量的工件。
*S4 型、H4 型、W4 型；L 為驅(qū)動長度 (mm)
• 合JIS '82/'94/'01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等
表面粗糙度的國際標(biāo)準(zhǔn)。
• 標(biāo)準(zhǔn)配置：高測頭 (0.75mN / 4mN 測力)，
分辨率高至0.0001μm。輪廓測量技術(shù)參數(shù):
X 軸
測量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
長度基準(zhǔn): 反射型線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 80mm/s 外加手動
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向前／向后
直線度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
* 以X 軸為水平方向上
直線位移: &plun;(1+0.01L)μm (SV-C3100S4, H4, W4)
(20ºC 時(shí)) &plun;(0.8+0.01L)μm (SV-C4100S4, H4, W4)
&plun;(1+0.02L)μm (SV-C3100S8, H8, W8)
&plun;(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8, H8, W8)
* L 為驅(qū)動長度 (mm)
傾角范圍: &plun;45º (帶有X 軸傾斜單位)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
長度基準(zhǔn): ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s 外加手動
Z1 軸 (檢測器)
測量范圍: &plun;25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3100), 0.05μm (SV-C4100)
刻度: 線性編碼器 (SV-C3100),
激光全息測微計(jì) (SV-C4100)
直線位移: &plun;(2+I4HI/100)μm (SV-C3100)
(20ºC 時(shí)) &plun;(0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100)
*H: 基于水平位置的測量高度 (mm)
測針上／下運(yùn)作: 弧形移動
測針方向: 向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度: 向上: 77º, 向下: 87º
(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測頭， 依表面粗糙度而定)
測針針尖 半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金
表面粗糙度測量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
長度基準(zhǔn): 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 80mm/s 外加手動
移動方向: 向后
直線度: (0.05+1L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
0.5μm/200mm (S8, H8, W8 型)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
長度基準(zhǔn): ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s 外加手動
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測頭選件時(shí)，
可達(dá)2400μm)
測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖: 金剛石, 90º / 5μmR (60º / 2μmR:低測力型)
類型: 差動電感式