無(wú)需靶鏡的高激光自干涉儀

產(chǎn)品介紹：

傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測(cè)目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測(cè)量光線(xiàn)，獲得高測(cè)量效果。清華大學(xué)推出國(guó)際光的LY1000非接觸式激光干涉儀，無(wú)需反射靶鏡，利用待測(cè)物工件自身反射的光線(xiàn)即可實(shí)現(xiàn)高的測(cè)量

應(yīng)用場(chǎng)所介紹

除傳統(tǒng)激光干涉儀使用的測(cè)量目標(biāo)外，還適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的測(cè)量目標(biāo)，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)等

系統(tǒng)特點(diǎn)

1無(wú)需靶鏡、非接觸式測(cè)量、量測(cè)可達(dá)5M

2被測(cè)物表面反射率無(wú)嚴(yán)格要求，可測(cè)“黑”表面

3采用激光自干涉原理，線(xiàn)性測(cè)量可達(dá)1*10-6次方

4無(wú)外部光學(xué)器件、無(wú)需調(diào)整光路、操作靈活方便

5自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償，測(cè)量高

規(guī)格參數(shù)

激光頭尺寸                          265*90*78mm

激光頭重量                          4Kg

激光工作波長(zhǎng)                       1064nm

激光功率                              1-5mW

激光光束直徑                       3-5mm

工作溫度范圍                        0℃-+40℃

系統(tǒng)組成                              激光頭、控制箱、補(bǔ)償傳感器、筆記本電腦、連接電纜

激光穩(wěn)頻                        1*10-6

線(xiàn)性測(cè)量范圍                        5m

線(xiàn)性測(cè)量                        1*10-6

分辨率                                  1nm

被測(cè)物反射率                          10-7——1

測(cè)量速度                          50mm/s