三軸導軌均采用天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性；
三軸導軌均采用高自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌受磨損；
單邊驅動活動橋式結構，顯著運動性能，測量及穩(wěn)定性；
Y軸采用整體燕尾式導軌，消除了運動扭擺，了測量及穩(wěn)定性；
控制系統(tǒng)采用歐洲高自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)即時控制；
三軸均采用大規(guī)率驅動器、電機及雙減速裝置，傳動、準確。
歐洲開放式金屬光學尺，解析度為0.4um；
Model | 機器型號 |
| Ktm-10128 |
Strokes(mm) | 行程（mm） | X | 1000 |
Y | 1200 | ||
Z | 800 | ||
Measuring Space（mm） | 測量空間 | Dx | 1100 |
Dy | 1960 | ||
Dz | 950 | ||
Dx1 | 153 | ||
Dy1 | 250 | ||
Threaded holesize granite platform(mm) | 花崗巖平臺螺紋孔尺寸（mm） | M1 | 133 |
M2 | 105 | ||
Mx | 250 | ||
My | 250 | ||
Overall size(mm) | 外型尺寸（mm） | L | 2370 |
W | 1694 | ||
H | 3150 | ||
Max.part weight(kg) | 承重 | 1200
4000 4.0+L/300 4.5
0.4
200 450
150N1/min,0.45Mpa | |
Machine weight(kg) | 機器重量 | ||
Accuiacy(µm) | MPEe | ||
MPEp(µm) | MPEp | ||
Gratingresolution(µm) | 光粣尺分辨率 | ||
Space moving | 空間移動速度 | ||
Speed(mm /s) | 空間移動加速度 | ||
Space mobile(mm/s2) | 流量/供氣壓力 |
