采用L型移動橋式，由兩到三個高等高塊規(guī)穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，了運(yùn)動質(zhì)心，減少了阿貝誤差；
X軸和Z軸均采用精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽化處理的航空鋁合金；
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌；
Z軸采用的可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，了測量機(jī)的和長
期穩(wěn)定性；
各運(yùn)動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強(qiáng)型同步帶，運(yùn)動的平衡和準(zhǔn)確定位；
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運(yùn)動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學(xué)尺，系統(tǒng)解析度可達(dá)0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學(xué)尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮；
測量機(jī)三軸都配置溫度感測器，即時監(jiān)控溫度變化，自動補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差。
X軸和Z軸均采用精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽化處理的航空鋁合金；
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌；
Z軸采用的可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，了測量機(jī)的和長
期穩(wěn)定性；
各運(yùn)動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強(qiáng)型同步帶，運(yùn)動的平衡和準(zhǔn)確定位；
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運(yùn)動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學(xué)尺，系統(tǒng)解析度可達(dá)0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學(xué)尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮；
測量機(jī)三軸都配置溫度感測器，即時監(jiān)控溫度變化，自動補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差。
