系科光電科技（上海）有限公司
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LE - M5 是系科儀器公司推出的激光型橢偏儀。采用全新橢偏算法配合高品質(zhì)相位補償?shù)脑O(shè)計方案，可以獲得更為出色的原始橢偏參數(shù)（TanPsi 及 CosDel），進而獲得更為的折射率及厚度。LE-M5同時支持多角度測量，適應(yīng)復(fù)雜應(yīng)用的膜厚測定。無論是光面還是絨面，LE-M5都能提供出色的采集速度及。
WHY LE-M5？
成熟的整體設(shè)計，高信噪比
微細光斑（<<1mm，≈20μm）
切換式載物臺
集成操作的LE-M5軟件系統(tǒng)全天候數(shù)據(jù)監(jiān)控
