產(chǎn)品品牌：

ETD

產(chǎn)品型號(hào)：

ETD-2000/3000

       COXEM Co.，Ltd  專門制造掃描電子顯微鏡的化企業(yè)，自2007年成立以來(lái)，持續(xù)快速發(fā)展，已成為主要掃描電鏡制造商之一。自2011年5月，COXEM在中國(guó)設(shè)立直銷辦公室，配置級(jí)掃描電鏡應(yīng)用工程師和維修工程師，向中國(guó)顧客提供優(yōu)質(zhì)掃描電鏡產(chǎn)品和服務(wù)。
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ETD-2000/3000型離子濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
 

 常規(guī)Au /Pt 金靶
主要特點(diǎn)：
1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
3. 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；
5. 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

 配置參數(shù)：

•  靶（上部電極）：金：直徑：50mm，厚度：0.12mm 
• 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
• 樣品臺(tái)及工作距離：高配旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，簡(jiǎn)配固定樣品臺(tái)，高度手動(dòng)調(diào)節(jié)
• 濺射面積： Ф50mm，放置
• 真空指示表： 真空度：≤ 4X10-2 mbar
• 離子電流表： 電流：50mA(100mA)
•  定時(shí)器： 長(zhǎng)時(shí)間：900S
• 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管 
• 可通入氣體： 多種
•  電壓： -1600（-3000）DCV
• 機(jī)械泵： 2L/S    （120L/min）
• 樣品表面離子清潔（選配）