產(chǎn)品品牌：

ZDF-5327Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：

ZDF-5327Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)

 1  儀器的用途及使用范圍 ZDF-5327Ⅱ型復(fù)合真空計(jì)由雙路熱偶規(guī)(ZJ-53B)與單路電離規(guī)(ZJ-27)組成，用于2.7×10²～6.6×10^-6Pa之間的壓力測量，適用于真空應(yīng)用、真空獲得等需要實(shí)時(shí)監(jiān)測真空與控制輸出的設(shè)備制造行業(yè)，包括半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、真空排氣臺(tái)、真空冶煉設(shè)備等生產(chǎn)車間及大專院校、科研院所實(shí)驗(yàn)室。儀器使用環(huán)境條件在5℃～35℃，相對(duì)濕度在80%以下，無強(qiáng)磁場及劇烈震動(dòng)的場合。   2  主要技術(shù)性能規(guī)范 2.1  測量范圍                 熱偶部分：2.7×10²～1.0×10^-1 Pa 電離部分：1.3×10⁰～6.6×10^-6 Pa 2.2 測量                  熱偶部分：≤±30%                               電離部分：≤±5% 2.3  電源                       ～220V±22V  50Hz ±1Hz 2.4 熱偶規(guī)管恒定加熱電流       29mA±1.5mA（27 mA±1.5mA） 2.5  電離規(guī)管發(fā)射電流          1.3×10⁰～1.3×10^-1 Pa  100μA 1.3×10^-1～6.6×10^-6 Pa  1mA  2.6  加速極對(duì)地電壓          225V±2V 2.7  燈絲對(duì)地電壓              25V±1V 2.8  收集極對(duì)地電壓          0V 2.9  除氣電壓                ～8V±2V 2.10  儀器外形尺寸            裝架式： 90mm×480mm×280mm 2.11  儀器開孔尺寸            88mm×440mm 2.12  儀器重量                5kg