- 產(chǎn)品型號(hào):
- HS-T50
產(chǎn)品簡(jiǎn)介 HS-T50無(wú)接觸厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池片制造過(guò)程中對(duì)表面厚度TTV電阻率無(wú)損測(cè)量的儀器。該儀器適用于Si,GaAs,InP,Ge等幾乎所有的材料,所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM(美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì))和Semi標(biāo)準(zhǔn),確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。 產(chǎn)品特點(diǎn) ■ 無(wú)接觸無(wú)損傷測(cè)量 ■ 適用的晶圓材料包括Si,GaAs,InP,Ge等幾乎所有的材料 ■ 抗干擾強(qiáng),穩(wěn)定性好 ■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示 ■ 一體化設(shè)計(jì)操作更方便,系統(tǒng)穩(wěn)定 ■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無(wú)接觸測(cè)量 技術(shù)指標(biāo) ■ 測(cè)試尺寸:50mm- 300mm. ■ 厚度測(cè)試范圍:1000 um,可擴(kuò)展到1700 um. ■ 測(cè)試:+/-0.25um ■ 電阻率測(cè)試范圍:0.1-50 ohm.cm ■ 測(cè)量:2% ■ 晶圓硅片類型:?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч? 詳情歡迎來(lái)電咨詢: 北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司 北京市通州區(qū)工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)光華路16號(hào) 電話: -104 傳真:-608 聯(lián)系人:肖經(jīng)理 QQ:454972757 E-mail: 公司網(wǎng)站:https://www.HenergySolar.com






