- 制作工藝：
- 集成
采用MEMS技術(shù)和SOI技術(shù)，集成平膜壓力傳感器芯體，并采用先進(jìn)的梁膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使其具有耐高溫及瞬時(shí)高溫沖擊的能力、動態(tài)頻率響應(yīng)高（可達(dá)到1MHZ）、超高量程，以及高過載（可承受滿量程20倍）等特點(diǎn)。“耐高溫微型壓力傳感器”為國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃（863計(jì)劃）MEMS領(lǐng)域重點(diǎn)項(xiàng)目成果，并通過部級成果鑒定，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。該壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、國防、石油、化工、冶金、電力、船舶、汽車、醫(yī)藥、科研等領(lǐng)域?qū)Ω邷亓黧w的測量。 型號：WYG1、WYG2、WYG4、WYG6、WYG7、WYG8、WYB1、WYB2、WYB1B WYB9、WYB301、WYB302、WYB303、WYB304、WYB501、WYB502、WYB503、WYBR1151 WYBR9、WWB1、WWB2、WYK1、WYK2、WMS
