產(chǎn)品名稱：電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：SC20
品    牌：英國(guó)Spicer Consulting
產(chǎn)    地：英國(guó)

產(chǎn)品參數(shù)
通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能
消除和監(jiān)測(cè)交直流磁場(chǎng)
簡(jiǎn)單的“一勞永逸”式操作，連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)
磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度：100 μs以內(nèi)
交流或直流磁場(chǎng)傳感器
消磁器動(dòng)態(tài)工作范圍為(X & Y軸) 為<=40 mG (4 μT ) pk-pk, Z -軸為<=30mG (3.0μT) pk-pk
交流磁場(chǎng)可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電50 Hz（典型）的交流背景磁場(chǎng)可被75倍
直流磁場(chǎng)可消除范圍：DC to 5 kHz；直流背景磁場(chǎng)可被200倍
完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng)
可消除場(chǎng)強(qiáng)80 mG (8.0 μT) pk-pk
消磁器顯示系統(tǒng)需為數(shù)字LCD 顯示面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆可透過(guò)面板按鈕作控制及切換
高靈敏度傳感器，可反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化；支持多路傳感器，用于抵消TEM電•鏡和CD關(guān)鍵尺寸電子束顯微在線檢測(cè)設(shè)備的環(huán)境磁場(chǎng)
網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控（選項(xiàng)）
本設(shè)備為免校正儀器,其內(nèi)部的自我歸功能會(huì)自動(dòng)校正

產(chǎn)品特點(diǎn)
當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移，從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量的減低。

SC20系統(tǒng)由磁場(chǎng)控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場(chǎng)傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成，是一種三維的交直流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng)。

傳感器測(cè)量空間環(huán)境中交直流磁場(chǎng)及其變化量，磁場(chǎng)控制單元以實(shí)時(shí)負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個(gè)線圈中的電流來(lái)創(chuàng)建一個(gè)與環(huán)境磁場(chǎng)變化相反的磁場(chǎng)信號(hào)，抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來(lái)的影響，恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和。

這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統(tǒng)，對(duì)磁場(chǎng)躍變自動(dòng)響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。

市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場(chǎng)可被消除至75分之一；直流背景磁場(chǎng)可被消除至200分之一。