1.量程寬，10sccm-1000slpm量身定制。 2.可以對150余種氣體進(jìn)行控制，并且廣泛適用于腐蝕性氣體。 3.選擇，可選擇供電電源15 or 24v，輸入輸出信號0-5V or 4-20mA 。 4.壓90bar 。 5.由韓國生產(chǎn)。 6.交貨時間短1-2星期。LINE TECH氣體質(zhì)量流量控制器和流量計廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)
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