設(shè)計特點　
·　熱式原理　
·　一體化設(shè)計　
·　滿量程從5SCCM到1000SLPM　
·　響應(yīng)時間不過2秒鐘　
·　操作壓力可達20MPa　
·　對安裝位置不敏感　
·　316SS材質(zhì)，允許測量腐蝕性氣體　
·　無直管段安裝要求　
·　單電源供電　

技術(shù)參數(shù)　
流量范圍：從0-5SCCM到0-1000SLPM　N　2，具體請參考表一　
響應(yīng)時間：1～2秒
：±1％滿量程（除204A型）；
---------±1.5％滿量程（204A型）
重復(fù)性：±0.2％滿量程
量程比：50：1（2％-100％滿量程）
環(huán)境和操作溫度：-10～70℃
操作壓力：3000PSIG（20MPa），具體請參考表一
點漂移：±0.05％滿量程／℃
范圍漂移：±0.05％讀數(shù)／℃
壓力漂移：0.1％／atm（相對于N2）
安裝方向：對位置不敏感
預(yù)熱時間：10分鐘
電氣連接：卡式（20針）或D型（9針）
設(shè)定點輸入流量信號輸出：0-5VDC／0-5VDC（小負載電阻2KΩ）；
-------------------------0-10VDC／0-10VDC（小負載電阻3KΩ）；
-------------------------1-5VDC／1-5VDC（小負載電阻2KΩ）；
-------------------------4-20mA／4-20mA（請參考下面的說明）；
-------------------------1-5VDC／4-20mA（請參考下面的說明）
對于流量信號輸出為4-20mA的負載電阻：
環(huán)路電壓為6.5-15VDC時：0-450Ω
環(huán)路電壓為15-30VDC時：200-750Ω
供應(yīng)電源：
電壓輸出：＋12（±5％）（適用于0-5VDC和1-5VDC流量信號輸出）或＋15（±10％）VDC
電流輸出：＋15（±5％）或＋24（±15％）VDC
電流消耗：＜250mAdc
重量：請參考表一