S48　300/HMT數(shù)字流量控制器技術指標
　　編號  項目  S48　300/HMT
　　1  流量規(guī)格  （10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min（1，2，3，5，10，20，30，50）L/min
　　2  調(diào)節(jié)閥類型  電磁調(diào)節(jié)閥
　　3  調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)  常閉
　　4  安裝角度  任意
　　5  流量控制范圍  2%-100%F.S.
　　6  流量測量范圍  0-100%F.S.
　　7  響應時間  ≤1　sec
　　8  工作環(huán)境溫度  5-50℃
　　9  溫度  15-35℃
　　10    ±1.0%S.P.（≥30%F.S.）；±0.30%F.S.（＜30%F.S.）
　　11  線性  ±0.5%F.S.
　　12  重復性  ±0.2%F.S.
　　13  工作壓差  -5L/min（50-300）kPa（D）10L/min-30L/min（100-300）kPa（D）50L/min（150-300）kPa（D）
　　14  耐壓  3MPa（G）
　　15  泄漏率  ＜1×10-8Pa·m3/s（He）
　　16  接觸氣體材料  316L，Viton？？氟橡膠，PTFE
　　17  管路接頭  Swagelok：Φ6mm，Φ10mm，Φ1/4″；VCR：1/4″，3/8″
　　18  供電電源  ±15V（±5%），＋15V，150mA；－15V，200mA
　　19  設定信號  數(shù)字：RS485/RS232
　　模擬：0-＋5V，輸入阻＞10kΩ
　　20  流量輸出信號  數(shù)字：RS485/RS232
　　模擬：0-＋5V，負載能力≤3mA
　　21  通訊接口  數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，
　　Modbus　RTU　協(xié)議從機，設備號可選范圍0-15
　　22  重量（kg）  0.9
　　
　　工作原理
　　數(shù)字式質(zhì)量流量控制器由分流器通道，質(zhì)量流量傳感器，信號放大調(diào)理，信號采集，流量控制調(diào)節(jié)閥，驅(qū)動電路，CPU等部件組成。
　　本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal　Profile　Flowmeter）。采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。
　　將模擬電壓設定值送入CPU或者將機發(fā)來的數(shù)字設定值從串口送入CPU，作為設定值，將傳感器測得的流量信號放大送入CPU，作為CPU控制調(diào)節(jié)閥的反饋值。CPU實時將設定值和流量信號反饋值進行數(shù)字化處理，生成控制量，驅(qū)動調(diào)節(jié)閥逐步開啟到相應的開度，直至流量值設定值。
　　分流器用于在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流，使流過毛細管流量檢測通道和流過主通道的氣流成比例。
　　控制調(diào)節(jié)閥為比例電磁閥，隨所加在電磁線圈上的電流大小而相應改變閥門開度。
　　S48-300/HMT　MFC可直接與計算機實現(xiàn)RS232/485連接，采用Modbus　RTU協(xié)議通訊。要用戶提供±15V直流供電，無需A/D，D/A　轉(zhuǎn)換卡等。
　　S48　300/HMT　MFC同時兼容模擬設定輸入，模擬流量信號輸出，其均為（0～5）V電壓形式，與之配套的MT-51、50系列流量顯示儀備有±15V直流電源供電，3位半數(shù)字流量值顯示，設定電位器，外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關等。