技術參數(shù)
　　1.激光器系統(tǒng)
　　激光波長：1064nm
　　激光平均功率：10W
　　典型光斑尺寸：35µm
　　實際切口取決于材料、光學器件和波長
　　冷卻方式：風冷
　　對焦方式：計算機程序控制
　　2.激光束定位系統(tǒng)
　　激光束運動范圍：60mm X 60mm
　　重復定位：2µm
　　定位：&plun;5µm
　　激光束小步進：0.76µm
　　3.圖像系統(tǒng)
　　方式：激光同軸
　　視場：4-6mm（對角線）
　　圖像顯示屏：19寸液晶
　　4.測量系統(tǒng)
　　激勵方式：電流激勵
　　恒流源：0.01µA~100mA計算機程控選擇
　　電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
　　直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
　　調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設定

　　電阻測量：低阻：<0.05%＋0.5%/R（R<100Ω）
　　中阻：<0.05%
　　高阻：<0.05%＋0.5%R（R>0.1MΩ）
　　電阻測量范圍：0.01Ω-10MΩ
　　電阻測量速度：25µs
　　直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
　　探針板：44針11通道四線制（可選其它規(guī)格）
　　探針板運動：計算機程序控制
　　5.計算機及軟件系統(tǒng)
　　工業(yè)控制計算機（雙核），19寸液晶
　　操作系統(tǒng)：Windows XP
　　VB平臺開發(fā)的可視化應用軟件，界面友好，大
　　6.分步重復機械運動系統(tǒng)
　　運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
　　運動范圍：290mm*260mm
　　陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做）
　　運動分辨率：1µm
　　重復：2µm
　　定位：&plun;15µm
　　運動速度：500mm/s
　　7.其它技術指標
　　供電電壓：220V AC
　　整機功耗：1000W