設備型號：PE-310
設備主要特點：
緊湊型設計：標準單臺三管（二管，四管可選），減少占地面積。
各種氣體控制流量：數(shù)字式MFC的運用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸?shù)母蓴_。工藝生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
系統(tǒng)控制：全部件，自動壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，控制反應室內(nèi)真空環(huán)境。
高頻電源：高頻電源穩(wěn)定。
送片方式：高定位和穩(wěn)定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅(qū)動滾軸絲桿，運行平穩(wěn)，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內(nèi)無級變化。
封門系統(tǒng)：密封的爐門設計，減少爐內(nèi)熱量的損失，并減少了溫度恢復時間。與裝載區(qū)隔離，裝載區(qū)無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
管路：工藝管路采用閥門管件組成--氣密性好，耐腐蝕，無污染（管路均采用PE級電拋光管路）。
自動裝載機械手（可選）。
設備主要特點：
緊湊型設計：標準單臺三管（二管，四管可選），減少占地面積。
各種氣體控制流量：數(shù)字式MFC的運用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸?shù)母蓴_。工藝生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
系統(tǒng)控制：全部件，自動壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，控制反應室內(nèi)真空環(huán)境。
高頻電源：高頻電源穩(wěn)定。
送片方式：高定位和穩(wěn)定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅(qū)動滾軸絲桿，運行平穩(wěn)，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內(nèi)無級變化。
封門系統(tǒng)：密封的爐門設計，減少爐內(nèi)熱量的損失，并減少了溫度恢復時間。與裝載區(qū)隔離，裝載區(qū)無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
管路：工藝管路采用閥門管件組成--氣密性好，耐腐蝕，無污染（管路均采用PE級電拋光管路）。
自動裝載機械手（可選）。
