名          稱  參        數(shù)
工
作
臺  金屬臺面尺寸(MM)  650 ×550
 方形玻璃臺面尺寸:(MM)  520X420
 X座標(biāo)行程:(MM)  500
 Y座標(biāo)行程：(MM)  400
 儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) MM：  680Х 950 Х1100
 儀器重量（KG）：  480
Z座標(biāo)升降行程:(MM)：170(調(diào)焦)   工作距離（MM）：95
X/Y/Z數(shù)顯解析度：0.0005MM (0.5UM)   X、Y坐標(biāo)示值誤差：≤（3+L/200）ΜM
影
像
系
統(tǒng)  攝影機(jī)：彩色1/3″CCD攝影機(jī)(日本索尼芯片 580線高分辨率工業(yè)攝像機(jī)）
美國變焦物鏡倍率：0.7～4.5X（定格變倍，無需每次校準(zhǔn)）
視頻總倍率：30X～230X
物方視場：7～1.1MM
傳動型式：X、Y、Z軸均采用馬達(dá)驅(qū)動磙珠絲桿傳動的型式
電腦自動采樣，端口輸出，軟體進(jìn)行資料分析處理
X、Y軸馬達(dá)運(yùn)動速度＜120MM/S   Z軸馬達(dá)運(yùn)動速度＜60 MM/S
馬達(dá)運(yùn)動步長0.4 MM/步         馬達(dá)分辨率1000步/轉(zhuǎn)

照  明  程控可調(diào)LED表面光和底光(使用全電壓)
伺服/步進(jìn)電機(jī)  臺灣原裝
電  源  180V（AC）～260V（AC） 50HZ
測量軟體  VMS測量軟體，可測缐、角、圓，隨圓、圓心距、角度、高度、平面距、空間距、平整度、球，自動逆向掃描等，自動輸出WORD/EXEL/CAD！