技術(shù)指標(biāo)：
>多鍍層，1～4層
>測(cè)試：0.01 um
>多次測(cè)量重復(fù)性誤差<0.1％
>元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)
>測(cè)量時(shí)間：10-60秒
>Si-PIN探測(cè)器，能量分辨率為149電子伏特
>微焦X射線管50KV/1mA，鎢靶，焦斑尺寸 75um, 壽命大于3萬(wàn)小時(shí)
>7個(gè)準(zhǔn)直器及6個(gè)濾光片自動(dòng)切換：　　
   客戶可選準(zhǔn)直器尺寸或定制尺寸準(zhǔn)直器。
   (0.1, 0.2, 0.4, 0.5, 1.0,mm 及用于有害物質(zhì)分析的3個(gè)Al、3個(gè)Mo)
   初級(jí)濾光片：Al濾光片，自動(dòng)切換
>XYZ三維移動(dòng)平臺(tái)
   軟件程序控制步進(jìn)式電機(jī)驅(qū)動(dòng)X-Y軸移動(dòng)大樣品平臺(tái)。
   激光定位、簡(jiǎn)易荷載負(fù)載量為5公斤
   軟件控制程序進(jìn)行持續(xù)性自動(dòng)測(cè)量
>高清CCD攝像頭，監(jiān)控位置
　- 觀察范圍：3mm x 3mm         - 放大倍數(shù)：40X
　- 照明方法：上照式                   - 軟件控制取得高真圖像
    顯示屏上顯示樣品鎖定、簡(jiǎn)易荷載、激光定位及拍照功能
>多變量非線性去卷積曲線擬合
>FP/MLSQ分析
> 平臺(tái)尺寸 700x580x25 mm
>平臺(tái)移動(dòng)范圍 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm