重量約：60kg    
　　體積：590mmW*500mmD*700mmH    
　　直徑為：6寸的真空卡盤（載物臺）    
　　載物臺X-Y方向粗調(diào)移動行程：4英寸*4英寸，移動：10um    
　　載物臺X-Y方向細調(diào)移動行程：2英寸*2英寸，移動：1um    
　　卡盤可以快速升降，行程：4mm    
　　回形平臺可以快速升降，升降行程：6mm，由圓形手柄控制，：1um    
　　回形平臺可以上下微調(diào)行程：25mm，由手柄控制，：5um    
　　戴物臺旋轉(zhuǎn)角度：360度，帶鎖裝置，：0.1度    
　　為滿足6個探針座同時放置使用，采用回形平臺設(shè)計    
　　上加入卡盤的快速拖出200mm    
　　可以安裝探針卡
　  
　　長工作距離金相顯微鏡    
　　高解析度    
　　目鏡：10X    
　　連續(xù)變焦 1X/2X    
　　2X 10X 20X 50X 100X  
　　總倍率范圍：20X-2000X    
　　150瓦高亮白色光源，可連續(xù)調(diào)節(jié)亮度（無調(diào)節(jié)）    
　　顯微鏡X-Y軸的行程是：2英寸*2英寸1微米    
　　顯微鏡Z軸的行軸是：50.8mm    
　　C Mount 接口  
　　
　　管狀夾具/1.5m長線纜/三軸（公）接頭      
　　三軸管狀夾具與屏蔽箱及環(huán)境因素的配合可100FA的漏電    
   三軸（母）轉(zhuǎn)三軸（母）轉(zhuǎn)接頭，適用于KEITHLEY4200/AGILENT B1500
　    
　　震桌    
　　垂直頻率：1.2〜1.5Hz    
　　水平頻率：1.5〜1.7Hz    
　　尺寸大于90cm*90cm，承重≥400kg    
　　4個氣囊    
　　
　　屏蔽箱    
　　與管狀夾具及雙屏蔽線纜并結(jié)合相應(yīng)的環(huán)境因素，漏電可100FA，配合線纜可高壓1000V。