氬氣純化循環(huán)設(shè)備

　　一、原理說(shuō)明：　
　　氬氣是大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)單晶硅，手套箱的保護(hù)氣，它的要求之高，是控制經(jīng)營(yíng)成本須重視的一個(gè)重要方面。

　　將排出含有雜質(zhì)的氬氣，除去固體雜質(zhì)，經(jīng)緩沖罐進(jìn)入氬氣壓縮機(jī)升壓，，經(jīng)氬氣純化設(shè)備。采用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為凈化劑，在溫度下，吸氣劑可于氬氣中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成穩(wěn)定的化合物或固溶體，從而對(duì)氬氣精制的目的。后將凈化后的氬氣送入使用地點(diǎn)。

　　二、設(shè)備構(gòu)成：
　　1、過(guò)濾器
　　2、壓縮機(jī)
　　3、氬氣純化
　　6、電氣控制箱　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　三、技術(shù)保障措施；
　　1、組合式過(guò)濾工藝，分級(jí)處理。
　　2、氬氣純化采用結(jié)構(gòu)和裝料方法，流速設(shè)計(jì)合理，氣流分布均勻。
　　3、氬氣純化采用設(shè)計(jì)的加熱構(gòu)造，加熱均勻、穩(wěn)定。
　　4、采用優(yōu)質(zhì)管件，閥門，避免管道和閥門影響氣體質(zhì)量。
　　5、采用優(yōu)質(zhì)的電器元件和控制儀表，溫度穩(wěn)定，減少溫度和影響。
　　6、氬氣純化的活化程序，嚴(yán)格按照活化程序執(zhí)行，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況適當(dāng)調(diào)整。
　　7、對(duì)用戶的操作員進(jìn)行設(shè)備操作培訓(xùn)，了解設(shè)備工作原理，掌握設(shè)備操作方法，熟悉設(shè)備的開車、停車、停電、停水處理方法。