光柵電子尺光柵尺的工作原理表示線性位移量的高位移傳感器。DLS系列光柵尺是由讀數(shù)頭、主尺和接口組成。玻璃光柵上均勻地刻有透光和小透光的線條，柵線為50線對／mm，其光柵柵距為0.02mm，采用四細分后便可得到分辯率為5μm的計數(shù)脈沖。一般情況卜，線條數(shù)按所測刻制，為了判別出運動方向，線條被刻成相位上相差90°的兩路。當讀數(shù)頭運動時，接口電路的光電接收器分別產(chǎn)生A相和B相兩路相位相差90°的脈沖波。輸出信號再經(jīng)過數(shù)顯系統(tǒng)細分處理，分辨率是光柵周期除以信號細分數(shù)，經(jīng)過電子信號細分處理分辨率可為5um或1um 光柵位移傳感器的工作原理，是由一對光柵副中的主光柵（即標尺光柵）和副光柵（即指示光柵）進行相對位移時，在光的干涉與衍射共同作用下產(chǎn)生黑白相間（或明暗相間）的規(guī)則條紋圖形，稱之為莫爾條紋。經(jīng)過光電器件轉(zhuǎn)換使黑白（或明暗）相同的條紋轉(zhuǎn)換成正弦波變化的電信號，再經(jīng)過放大器放大，整形電路整形后，得到兩路相差為90o的正弦波或方波，送入光柵數(shù)顯表計數(shù)顯示。機床配套光柵尺：線切割光柵尺、銑床光柵尺、磨床光柵尺、車床光柵尺、三軸火花機光柵尺。
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