總體規(guī)格特點：
　　* 重量：50kg（含顯微鏡）。
　　* 尺寸：590mm寬＊500mm長＊700mm高（含顯微鏡）。
　　* 優(yōu)化的人體工學設計，便于工程師長時間舒適的操作。
　　
　　顯微鏡操控規(guī)格：
　　* 在探針臺右側有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時更換物鏡鏡頭。
　　* 顯微鏡后側有X／Y軸調節(jié)小搖輪，可調節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動，移動范圍2"X2"，1μm.
　　* 顯微鏡Z軸帶有調焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調焦，細旋鈕方便調焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動1μm.
　　
　　臺面規(guī)格：
　　* 探針臺臺面平整度：5μm.
　　* 探針臺左側有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm.在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇。
　　* 探針臺右上方有轉輪搖桿，搖動時可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，1μm.在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復位。
　　
　　卡盤（載物臺，即圖中的chuck）規(guī)格：
　　* 6"卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小），小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"。
　　* 卡盤可360度旋轉，旋轉角度可微調，微調為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。
　　* 卡盤X，Y軸調節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為6"X6"，移動為1μm，為方便點測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能。如果點測6"wafer的時候，可以6"wafer的每一點夠點測到。