等離子刻蝕機
等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產生的電離氣體和釋放電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
等離子刻蝕機的應用
等離子體處理可應用于的基材，甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗，等離子體鍍膜也問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機的典型應用包括：
等離子體清除浮渣
光阻材料剝離
表面處理
各向異性和各向同性失效分析應用
材料改性
包裝清洗
鈍化層蝕刻
聚亞酰胺蝕刻
增強粘接力
生物應用
聚合反應
混合物清洗
預結合清洗
等離子刻蝕的影響因素
–氣壓（Pressure）?！ ?
–溫度（Temperature）溫度會刻蝕率?！ ?
–Micro-loading
–刻蝕后腐蝕（Post-etch corrosion）?！ ?
–殘留物（residual）。
等離子刻蝕機，又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子刻蝕，是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產生的電離氣體和釋放電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
等離子刻蝕機的應用
等離子體處理可應用于的基材，甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗，等離子體鍍膜也問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機的典型應用包括：
等離子體清除浮渣
光阻材料剝離
表面處理
各向異性和各向同性失效分析應用
材料改性
包裝清洗
鈍化層蝕刻
聚亞酰胺蝕刻
增強粘接力
生物應用
聚合反應
混合物清洗
預結合清洗
等離子刻蝕的影響因素
–氣壓（Pressure）?！ ?
–溫度（Temperature）溫度會刻蝕率?！ ?
–Micro-loading
–刻蝕后腐蝕（Post-etch corrosion）?！ ?
–殘留物（residual）。
