普通的壓阻式壓力傳感器其敏感惠斯頓電橋的四個(gè)力敏電阻是用集成電路工藝制造的，電阻間用PN結(jié)相互隔離。由于受到PN結(jié)耐溫限制，使用溫度125℃，而實(shí)際上由于PN結(jié)反向漏電流隨溫度的指數(shù)上升關(guān)系，在溫度過(guò)100℃后，傳感器性能已大大劣化，這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。利用厚薄膜技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴(kuò)展至125℃；利用多晶硅SOI技術(shù)制作力敏電阻，可將使用溫度擴(kuò)展至150°C；利用傳統(tǒng)SOS技術(shù)和的SOI技術(shù)可將使用溫度擴(kuò)展至180℃～350℃；利用新的β相高溫力敏材料碳化硅與SOI技術(shù)的結(jié)合，可將溫度擴(kuò)展至450℃～850℃，本系列產(chǎn)品是利用國(guó)際傳感器，配合高子件，經(jīng)嚴(yán)格的工藝過(guò)程裝配而成。
　　
　　性能參數(shù)
　　
　　測(cè)量范圍：0～10KPa…100MPa
　　
　　過(guò)載能力：2倍滿量程壓力（其中100MPa的產(chǎn)品過(guò)壓為1.1倍滿量程壓力）
　　
　　壓力類型：表壓或壓或密封參考?jí)毫?
　　
　　測(cè)量介質(zhì)：與316不銹鋼兼容的氣體或液體
　　
　　綜合：±0.25％FS；±0.5％FS；±1％FS
　　
　　使用溫區(qū)：-40℃～＋150℃；-40℃～＋200℃；-55℃～＋250℃；-25℃～＋350℃
　　
　　補(bǔ)償溫區(qū)：-20℃～＋130℃；-20℃～＋180℃；-20℃～＋200℃；0℃～＋250℃
　　
　　長(zhǎng)期穩(wěn)定性：典型：±0.1％FS／年；：±0.2％FS／年
　　
　　點(diǎn)溫度漂移：典型：±0.02％FS／℃；：±0.05％FS／℃
　　
　　靈敏度溫度漂移：典型：±0.02％FS／℃；：±0.05％FS／℃
　　
　　供電范圍：12～36VDC（一般24VDC）
　　
　　信號(hào)輸出：4～20mA／1～5VDC／0～5VDC
　　
　　負(fù)載電阻：≤（U-10）／0.02Ω
　　
　　響應(yīng)時(shí)間：≤3毫秒