新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設備尺寸和指標的新需求變化而設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應末端，用來監(jiān)測純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因導致滲入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 級別下
1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。
亮點
- 對 ppb 級別濕度異動的快速響應
- 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
- 多點測量安裝的概念
- 維護要求低
- 信號燈式的狀態(tài)指示
- 可設置和報警點
- Modbus 網絡兼容
- 遠程控制界面的多通道軟件
- (UHP) 純氣體的管線檢測
技術指標 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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