傳統(tǒng)的光譜儀,是在大氣中測量的。進入“真空紫外”段(200納米以下),其光譜特性的測量需在真空條件下,由精密的光學(xué)系統(tǒng)來完成。其關(guān)鍵技術(shù):
?。?) 真空狀態(tài)下的精密機械動密封。
?。?) 油處理。
?。?) 連續(xù)可調(diào)密封狹縫。
?。?) 光柵的機械補償校正。
點:
?。?) 對各關(guān)鍵環(huán)節(jié)採用了分布式微處理器的自動控制。
(2) 設(shè)計的附加設(shè)備,可實現(xiàn)多樣片同時測試,減少了在密封條件下頻繁安裝與拆卸,了測試效率與。
?。?) 取消了傳統(tǒng)的動密封,了系統(tǒng)的真空度。
本產(chǎn)品的性能已國外同類產(chǎn)品水平,主要技術(shù)指標(biāo):
短波長≤50nm(納米)
分辨率:0. 02nm(納米)
國內(nèi)水平()。







