UL1000氦檢漏儀
INFICON UL1000型氦檢漏儀尤其適用于元件檢漏的要求，靈測試，高靈敏度，快速于的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的性。
UL1000合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點(diǎn)從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，至1-CAL＊，的、用于消除在10-11至10-12靈敏漏率范圍中長平衡時間的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的自診斷程序。并可調(diào)用氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。
INFICON UL1000型氦檢漏儀尤其適用于元件檢漏的要求，靈測試，高靈敏度，快速于的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的性。
UL1000合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點(diǎn)從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，至1-CAL＊，的、用于消除在10-11至10-12靈敏漏率范圍中長平衡時間的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的自診斷程序。并可調(diào)用氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。
