一、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（JJG_28-2000）
　　二、產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格：
　　平晶標(biāo)準(zhǔn)尺寸單位（mm）
　　規(guī)格
　　30mm
　　45mm
　　60mm
　　80mm
　　100mm
　　150mm
　　直徑
　　Φ30
　　Φ45
　　Φ60
　　Φ80
　　Φ100
　　Φ150
　　
　　厚度
　　15mm
　　15mm
　　20mm
　　20mm
　　25mm
　　30mm
　　規(guī)格
　　200mm
　　250mm
　　300mm
　　400mm
　　500mm
　　600mm
　　
　　直徑
　　Φ200
　　Φ250
　　Φ300
　　Φ400
　　Φ500
　　Φ600
　　厚度
　　40mm
　　45mm
　　45mm
　　45mm
　　50mm
　　50mm
　　
　　三、按JJG_28-2000標(biāo)準(zhǔn)
　　1.平晶：1級
　　2.平面度誤差：
　　直徑 30mm~60mm 0.03μm
　　直徑 80mm~150mm 0.05μm
　　直徑 200mm~300mm 0.06μm
　　直徑 300mm~600mm 0.08μm
　　（Webon 直徑300mm~600mm的平晶平面度誤差均可以做到0.03μm 國際水平）
　　3.平行度誤差：I級 0.6μm
　　4.平晶的材料：
　　檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)（GB 903-1987無色光學(xué)玻璃）
　　5.平晶須放置在（20士5）℃和濕度不大于80%RH的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫，等溫時間不少于8h.