產品介紹    白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術，是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統(tǒng),，為韓國SAMSUNG指定供應商，LPL友好俱樂部成員，清華大學，臺灣大學，爾大學友好合作伙伴。 產品特點 1、非接觸式測量：避免物件受損。
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數字信號處理器：實現測量需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置、震、壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。
技術參數 　

機型		SIS 2000
工作臺	尺寸	350mm×350mm
	傾斜度	±3 °
測量行程		X:200mm   Y:200mm
Z軸行程		100mm
運動方式		自動，馬達驅動
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物鏡安裝架		手動 5個位移的可定位夾具
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×

應用領域 1、TFT產業(yè)
2、半導體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工 附件 水準測量器、旋轉臺、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等