1） 特性
² 測量模式分手動和自動模式，用戶可以自由選擇
² 簡單的按鍵操作，任何人都可以快速正確測量出結果
² 測量分手動、自動和連續(xù)自動，用戶可任意選擇
² 在自動模式中如果探針接觸測量樣片表面，測量結果就會在窗中顯示
² 電阻率測量時，只要輸入校正系數（如厚度、探針間距、樣本大?。┚蜁詣佑嬎?，進行測量。
² 可根據用戶要求定制(測量范圍、測量時間、探針張力、探針半徑、探針間距等)
² 可根據用戶選擇采用單和雙配置作為測量模式測量。采用雙配置測量均質樣品時，如果樣品的大小是探針間距的5的話，具有與測量位置無關，任何位置都可以測量出相同值的優(yōu)點。
² 測量直徑為300mm以下的樣品時，在用戶要求的位置都可以測量
² 操作臺可上下、水平、旋轉移動不需移動樣品，任何位置都可以測量。
2） 規(guī)格
² 測量方式：單&雙配置法
² 測量范圍：4mΩ/sq.~1GΩ/sq.
² 測量分辨率：4½dis
² 測量準確性：0.5%以下（在23℃）
² 針間距：1.00mm，1.59mm
² 針半徑：50μm~500μm（可根據所測量樣品選擇）
² 測量時間：1秒
² 電流：10nA~100mA
3） 應用
這種類型作為研究和開發(fā)用的儀器，可以測量電阻，面電阻和電阻率，并且具有好精密性，重復性，性。
