| FS4000系列質量傳感器 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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產品概述: FS4000是美國矽翔微機電系統(tǒng)有限公司采用的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等） FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。 FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于潔凈氣測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等 產品特點: - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計 - 支持多種連接方式，易于安裝與使用 - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量 - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比了100:1甚至更高 - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 - 點穩(wěn)定度高 - 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復性 - 低功耗、低壓損 - 響應速度快機械尺寸: 產品特點:
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