NA MASTER(那諾-馬斯特)的NEE-4000是全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，雙腔配置支持樣平臺所在的主腔體跟電子束源所在的二級腔體的真空分開控制，使得主腔體在放取片時二級腔體仍然保持真空狀態(tài)，大大處理效率。
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
NA-MASTER(那諾-馬斯特) NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺位于主腔體內(nèi)，二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時，他可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實現(xiàn)，這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過PC計算機控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。
產(chǎn)品特點：
順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
雙電子束源
多凹槽電子
可編程電子束掃描
10KW開關(guān)電源
渦輪分子泵，限真空5x10-7Torr
手動上片，帶預(yù)真空鎖
自動上片
材料和襯墊更換方便
晶振式膜厚監(jiān)測儀
通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制
菜單驅(qū)動，四級訪問保護(hù)
產(chǎn)品型號：
NEE-3500：計算機全自動控制的緊湊型系統(tǒng)
NEE-4000：計算機全自動控制的系統(tǒng)
