光功率熱分析儀產(chǎn)品特點
嘉儀通科技研發(fā)的OPA是世界臺納米級薄膜材料物性分析儀，填補了國際對納米級薄膜材料檢測其相變溫度和熱膨脹系數(shù)的技術(shù)空白！OPA不可用于檢測塊體，還可檢測1nm的薄膜材料?！ PA根據(jù)材料相變前后光學(xué)性質(zhì)（反射光功率）有較大差異的特性檢測材料的相變溫度，依據(jù)光干涉原理檢測透光材料的熱膨脹系數(shù)，融合了相變溫度分析儀和熱膨脹系數(shù)分析儀的兩項功能。 OPA可同時檢測材料的相變溫度和熱膨脹系數(shù)兩項熱力學(xué)參數(shù)，且進行檢測，樣品不被破壞，節(jié)約成本?！ PA具有知識產(chǎn)權(quán)，獲得多項技術(shù)！
光功率熱分析儀應(yīng)用功能
各種材料相變溫度（融化、、晶化等）的實時測定
新型材料（相變材料、相變儲能材料）的穩(wěn)定性測試及性能優(yōu)化
強誘導(dǎo)體薄膜的結(jié)晶化退火
注入離子后的擴散退火
半導(dǎo)體材料的燒成與退火條件研究
玻璃基板的均熱退火
熱循環(huán)試驗與熱沖擊試驗
升溫脫離試驗與觸媒試驗
光功率熱分析儀技術(shù)參數(shù)
型號 | OPA-300 | OPA-1200 | OPA-1800 |
溫度范圍 | RT~300℃ | RT~1200℃ | RT~1800℃ |
程序升溫重復(fù)性偏差 | ＜1.0% | ||
程序升溫速率偏差 | ＜1.0% | ||
相變溫度測量精密度偏差 | ＜3% | ||
相變溫度測量正確度偏差 | ＜3% | ||
熱膨脹系數(shù)測量精密度偏差 | ＜4.5% | ||
熱膨脹系數(shù)測量正確度偏差 | ＜±15% | ||
工作功率 | 4.0kw | ||
升溫速度 | 50℃/s（50℃~1200℃、真空氛圍），45℃/s℃/（50℃~1200℃，N?氛圍） | ||
溫度一致性 | ±2.0℃（1200℃，真空），±4.5℃（1200℃，N?） | ||
制冷要求 | 水冷 | ||
相變薄膜材料檢測厚度下限 | 1.0×10-9m | ||
熱膨脹分辨率 | 266nm | ||
主機尺寸 | 650 x 790 x 1350，單位mm | ||
重量 | 92.3kg | ||
光功率熱分析儀樣品要求
●尺寸：長×寬 5x5~20x20，單位mm，厚度2.0mm（含基底）以下為宜
●相變溫度測試樣品，具備光學(xué)反射平面
●熱膨脹系數(shù)測試樣品，具備光學(xué)反射雙平面，適用于透光材料的熱膨脹系數(shù)檢測
●檢測樣品的熱膨脹量≥266nm
●薄膜可選擇適當(dāng)基底，建議用20mmx20mmx1.5mm石英玻璃或硅片
PCA、TEA、OPA 可應(yīng)用于以下材料：
● NiAl復(fù)合薄膜 ● 氧化釩薄膜 ● PZT鐵電材料 ● MgO/Ni-Mn-Ga薄膜 ● GST相變存儲薄膜 ● 金屬Co薄膜 ● Al2O3薄膜 | ● iN薄膜 ● GeTe薄膜 ● ZrO2薄膜 ● 摻Ti的ZnSb薄膜 ● SiC薄膜 ● 顯示屏玻璃 ● 變記憶合金薄膜 | 樣品滿下要求： ● 尺寸：長x寬 （5-20）x（5-20） ,單位mm ● 厚 度 2.0mm（含基底）以下為宜 ● 變溫度測試樣品，具備光學(xué)反射平面 ● 熱膨脹系數(shù)測試樣品，具備光學(xué)反射雙平面 ● 適用于透光材料的熱膨脹系數(shù)檢測 ● 熱膨脹檢測樣品的熱膨脹量≥266nm |
光功率熱分析儀應(yīng)用實例
| ● 紅外材料 | ● 復(fù)合材料 |
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| 圖1：VO2不同升溫速率12℃/min、15℃/min 對比圖（四川大學(xué)提供樣品） | 圖2：鋁鎳合金復(fù)合薄膜（西南科技大學(xué)提供樣品） |
| ● 相變存儲材料 | ● 熱電薄膜材料 |
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| 圖3：相變存儲材料圖（中科院微系統(tǒng)所提供樣品） | 圖4：熱電轉(zhuǎn)換薄膜材料（摻Ti的ZnSb）（深圳大學(xué)提供樣品） |
| ● 氧化鋯薄膜 | |
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| 圖5：ZrO2薄膜（清華大學(xué)提供樣品） | 氧化鋯薄膜與XRD對比圖 |
| ● 高溫陶瓷材料 | ● 硬質(zhì)合金薄膜材料 |
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| 圖6：高溫陶瓷材料（TiN薄膜硅基底）（海南大學(xué)提供樣品） | 圖7：切削刀具相變監(jiān)測曲線（武漢大學(xué)提供樣品） |
| ● SiC薄膜 | ● 顯示屏玻 |
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| SiC薄膜熱膨脹系數(shù)監(jiān)測曲線（中國電子科技集團第五十五研究所提供樣品） | 顯示屏玻璃熱膨脹系數(shù)監(jiān)測曲線（武漢天馬提供樣品） |
