東莞芳匯鑫科技技術(shù)有限公司

晶圓撕膜機(jī)WKM手動版規(guī)格書

一、產(chǎn)品概述

本機(jī)為自行研制的手動撕膜機(jī)（型號為 FHX 系列），尺寸分別為 6 寸、 8 寸、 12 寸等。東莞芳匯鑫科技技術(shù)有限公司

（可定制），晶圓、 LED 撕膜使用。本機(jī)主要特點(diǎn)：

? 主體部分為不銹鋼、鋁合金制作，質(zhì)量可靠，性能穩(wěn)定；

? 可把 3”~12” 晶片在反研磨或蝕刻工藝貼膜去除。

? 操作簡單，易懂易會；

? 本機(jī)外表美觀、堅固可靠、性能優(yōu)越、價格實(shí)惠，能為廣大客戶大大提高生產(chǎn)效率。晶圓撕膜機(jī)FHX手動版規(guī)格書LED 撕膜使用

1- 工作臺盤

2/3/4-12 寸 /8 寸 /6 寸真空開關(guān) : 按下吸附臺盤晶片使其牢固；按下開關(guān)，開關(guān)上紅燈長亮，此時真空功能開啟。再按一次，開關(guān)上紅燈熄滅，真空功能關(guān)閉；

5- 溫控器：打開此開關(guān)可把機(jī)器的臺盤加熱，按下開關(guān)，開關(guān)上綠燈長亮，此時加熱功能開啟。再按一次，開關(guān)上綠燈熄滅，加熱功能關(guān)閉；

6- 離子風(fēng)扇 : 去靜電

7- 精密調(diào)壓閥：***調(diào)節(jié)氣壓大小

8- AC 插頭：接電插口

9- 電源開關(guān)：按下“○”關(guān)閉電源，按下“－”開啟電源

10- 進(jìn)氣接口：接氣接口

成品展示：

晶圓貼膜機(jī)結(jié)構(gòu)，單晶圓貼膜機(jī)減薄，真空吸盤，穩(wěn)固覆膜！

1.適用于藍(lán)膜、UV膜、PET襯底膜和雙層膜。

2.可選配的能應(yīng)用于超薄晶圓的的微孔貼膜臺盤。

3.加熱的且?guī)椓Φ馁N膜臺盤設(shè)計可自適應(yīng)不同厚度的晶圓。

4.***的貼膜滾輪壓力可調(diào)設(shè)計。

5.配備圓周刀和橫切刀。

6.可選配的離子風(fēng)棒靜電去除裝置。

7.體積小，桌面擺放型。

手動貼膜機(jī)型號WM6適用于6＂晶圓   WM8適用于8＂晶圓  WM12適用于12＂晶圓

會省膜手動貼膜機(jī)：

特別設(shè)計的省膜結(jié)構(gòu)，讓手動貼膜機(jī)系列貼膜機(jī)成為高省膜的手動貼膜機(jī)，比普通手動貼膜機(jī)可節(jié)約15%左右，大大降低了客戶的貼膜***；在目前或?qū)硎褂冒嘿F的UV膜時，***節(jié)省的效果會更***。

適用于超薄晶圓的微孔貼膜臺盤（選配）： 微孔設(shè)計的貼膜臺盤加上***的氣路設(shè)計和彈力支持結(jié)構(gòu)，可適用于***100um厚度的晶圓、玻璃或陶瓷；此結(jié)構(gòu)和配有空氣柔性彈力，且彈力可調(diào)的滾輪裝置可限度地減少在貼膜時對超薄晶圓的破壞，很大限度地降低破片機(jī)率。

帶加熱功能和彈力的***特氟龍表面處理貼膜臺盤：

帶加熱且加熱溫度范圍可調(diào)的臺盤設(shè)計，***貼膜粘合效果能調(diào)整至理想狀態(tài)。帶彈力的臺盤可自適應(yīng)不同厚度的晶圓、玻璃或