1、技術(shù)要求

1.1供氣方式：

1.1.1實(shí)驗(yàn)室所用氣體介質(zhì): 氮?dú)釴₂ 、氫氣H₂、氦氣He 、氬氣Ar 、乙炔C₂H₂、壓縮空氣共6種氣體。

1.1.2氬氣、氦氣、乙炔、氫氣、氮?dú)?、空氣使用鋼瓶不間斷供氣系統(tǒng)，將氣瓶間的高純氣體輸送至儀器室使用。

1.2設(shè)計(jì)要求

項(xiàng)目所用材料均采用優(yōu)質(zhì)知名品牌，氦氣應(yīng)選用PFA材質(zhì)的隔膜式調(diào)壓閥。有毒和易燃易爆氣體需要做安全處理,包含吹掃，尾氣處理和緊急聯(lián)動(dòng)。要求按照實(shí)驗(yàn)室提供的功能平面分布和用氣點(diǎn)配置要求進(jìn)行項(xiàng)目設(shè)計(jì)、安裝和調(diào)試，做到所有系統(tǒng)配置符合相關(guān)規(guī)范和使用安全。實(shí)驗(yàn)室氣體管路項(xiàng)目主要材質(zhì)為316LBA等級(jí)的不銹鋼無(wú)縫鋼管，所有氣體管路的連接采用無(wú)縫焊接技術(shù)，不允許卡套、快裝、法蘭、快插。焊口做到不氧化，內(nèi)外成型，嚴(yán)禁 出現(xiàn)內(nèi)外焊接滲漏。所有管道必須在較潔凈的空間施工安裝，不允許雜質(zhì)，灰塵等顆粒進(jìn)入管內(nèi)影響精密儀器使用。氣體管路項(xiàng)目包括氣體管路的設(shè)計(jì)、 材質(zhì)、安裝和驗(yàn)收等方面的內(nèi)容。本項(xiàng)目“氣體管路”特指從氣源區(qū)（如鋼瓶間）總閥門(mén)到實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各用氣點(diǎn)氣體閥門(mén)每層管道要單獨(dú)做控制、阻火，所涉 及的有氣體切換裝置（自動(dòng)）、減壓裝置、管路、二次減壓裝置、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)等。

1.3實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部氣體管路項(xiàng)目的使用與設(shè)計(jì)壓力，具體內(nèi)容如下：

離子色譜-----N₂: 0.2 Mpa～0.8Mpa

液質(zhì)----N₂:  0.2 Mpa～0.8Mpa   

氣質(zhì)---- Ar、He: 0.2 Mpa～0.8 Mpa

原子熒光---- Ar: 0.2 Mpa～0.8 Mpa

原子吸收---- Ar、C₂H₂:  0.2 Mpa～0.8 Mpa

氣相---- H₂、N₂、CA:  0.2 Mpa～0.8Mpa

*1.4產(chǎn)品說(shuō)明：

a.鋼瓶接頭：G5/8"/W21.8L/接頭，跟進(jìn)氣體進(jìn)行配置不同的接口，要求耐壓：300bar,材質(zhì)：316L

b. 高壓盤(pán)管：工作壓力300bar,進(jìn)口氣螺紋1/4"NPT(F),配有鋼瓶扳手，材質(zhì)：316L，配有鋼瓶扳手。

c. 高壓球閥：316L不銹鋼材質(zhì),   04-SBVU-SS,進(jìn)出氣1/4"卡套,耐壓：不低于2500PSI.

d. 匯流排（乙炔特殊除外）:316SST材質(zhì)，進(jìn)口壓力241bar，出口切換壓力16bar，進(jìn)出氣螺紋1/4〞NPT（F）,cv0.06流量為10m3/h，全壓程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換供氣功能，外漏<2X10-8 atm cc/sec He，應(yīng)用溫度-40℃~73℃。2只進(jìn)氣隔膜閥，2只排氣隔膜閥，2只減壓器，2只進(jìn)氣壓力表，1只出口壓力表，配有安全泄壓閥，設(shè)定安全泄壓值：20bar。

e. 二級(jí)減壓閥：材質(zhì)316SST，全合金膜片全金屬硬密封，泄漏等級(jí)2X10-8atm cc/sec He。進(jìn)口壓力27bar，出口壓力調(diào)節(jié)范圍0-10bar可調(diào)，cv0.15,帶一個(gè)出口壓力表，進(jìn)出氣螺紋1/4〞NPT（F）,流量為5m3/h316L。

f. 管道：管道采用316L不銹鋼光亮退火，母材符合BA級(jí)的高純管道,管道的內(nèi)表面處理值要小于0.37u.管道的標(biāo)準(zhǔn):1/4”-1/2”（英寸）壁厚 0.88mm ,3/4”-1-1/2”壁厚為1.65mm.管壁的厚度不得減小。

g. 三通彎頭：采用316L不銹鋼光亮退火，母材符合BA級(jí)的高純氣路配件, 三通彎頭等均為可自動(dòng)焊接的產(chǎn)品配件, 大于1/2”外徑的管道禁止使用 彎管器具, 必須使用成品彎頭,彎度為90度的3R或5R標(biāo)準(zhǔn)。

h. 泄漏報(bào)警：實(shí)驗(yàn)室的探測(cè)范圍應(yīng)做到無(wú)死角.各層面各實(shí)驗(yàn)室的各種氣體的偵測(cè)數(shù)據(jù)可做到單獨(dú)控制、單獨(dú)處理，統(tǒng)一管理的集成模式。

i. 阻火器：阻火器的材質(zhì)為316L不銹鋼,承壓100psi，易燃?xì)怏w和助燃?xì)怏w的阻火器不得混淆使用。

j.數(shù)字顯示低壓報(bào)警系統(tǒng)

功能箱壁掛式；信號(hào)源來(lái)自壓力傳感器，欠壓狀態(tài)發(fā)出蜂鳴聲，伴有數(shù)字顯示，4-20mA輸出信號(hào)，工作直流24V

k. 排空系統(tǒng)

注意事項(xiàng)：儀表配件為各氣體的專用品不得代用或混淆使用，氧氣的材料禁止接觸到油脂和粉塵顆粒(氧氣遇到油脂會(huì)導(dǎo)致爆炸，時(shí)速20米以上的 氧氣遇到顆粒阻擋摩擦的熱量會(huì)導(dǎo)致爆炸)，所有產(chǎn)品為真空包裝，包裝在使用前不得打開(kāi)或被破壞，避免空氣和顆粒等進(jìn)入污染材料。

2. 氣源區(qū)氣瓶連接、切換器、安全裝置和其它配套裝置

2.1. 從高壓鋼瓶出來(lái)用一段Pigtail連接到匯流排上的各個(gè)控制閥,再配備全自動(dòng)切換裝置，實(shí)現(xiàn)在用氣瓶和備用氣瓶之間的氣體切換和不間斷供 應(yīng)。氣源處設(shè)置壓力傳感器以壓力做報(bào)警提示,特殊氣體匯流排配置高純氮吹掃和排空尾氣處理以防止殘留有毒有害氣體的溢出.排空裝置及進(jìn)氣主管路 上配置回火防止器,鋼瓶間設(shè)置氣體泄漏報(bào)警器,當(dāng)鋼瓶間有有害氣體泄漏后泄漏探測(cè)報(bào)警器會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警，保證供氣安全。

2.2 實(shí)驗(yàn)室氣體管路要求采用高質(zhì)量光亮退火的無(wú)縫不銹鋼SS－316L（BA）材料。三通彎頭等采用成品配件, 連接方式均為自動(dòng)焊接, 禁止卡套、 快裝等。

2.3 實(shí)驗(yàn)室氣體管路系統(tǒng)必須配備安全壓力釋放和調(diào)節(jié)閥門(mén)，配備壓力表直觀反應(yīng)氣體入口和出口壓力。所有釋壓和吹掃閥門(mén)要求通過(guò)管路連接到 排氣管道裝置系統(tǒng)。

2.4 盤(pán)管Pigtail由光亮退火的無(wú)縫不銹鋼SS－316L（BA）材料制成，有足夠的韌性。連接鋼瓶的一端需用自動(dòng)焊接,防止更換鋼瓶時(shí)的擺動(dòng)影響接 頭的嚴(yán)密性,導(dǎo)致泄漏。

2.5 安全減壓閥要有標(biāo)示，標(biāo)明壓力釋放級(jí)別。

2.6 所有管件閥門(mén)、調(diào)壓裝置、切換裝置等都由高質(zhì)量的不銹鋼材料制成，并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件。

2.7 壓力調(diào)節(jié)裝置要求是不銹鋼隔膜型，要求采用國(guó)際品牌的產(chǎn)品。每種氣體的減壓閥壓力表為各種氣體的專用儀表。

2.8 所有管路標(biāo)明連接的氣體和氣體的流動(dòng)指向。指示標(biāo)示的顏色須用不同顏色來(lái)區(qū)分,特殊氣體的色彩應(yīng)鮮艷醒目。

2.9 實(shí)驗(yàn)室管路系統(tǒng)中的氣體管路、鋼瓶等需要提供合適的接地保護(hù)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)不銹鋼氣路管道

3.設(shè)計(jì)說(shuō)明

3.1 實(shí)驗(yàn)室使用6種氣體，氣體包含氮?dú)?，氦氣，壓縮空氣，氬氣，氫氣及乙炔。

3.2主管道的直徑為1/4”通往每個(gè)實(shí)驗(yàn)室儀器的每種氣的管道均采用1/4”到各使用點(diǎn)。所有氣體管路經(jīng)過(guò)墻體到各實(shí)驗(yàn)室時(shí)需加裝防護(hù)套管并用阻燃材料堵塞縫隙。

3.3進(jìn)入每一層每個(gè)實(shí)驗(yàn)室的支路氣路上裝有開(kāi)關(guān)閥可以整體控制.實(shí)驗(yàn)臺(tái)上使用的各種氣體在功能柱上配置減壓閥表經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)壓力后再接到各個(gè)使用點(diǎn),每個(gè)使用點(diǎn)均采用手動(dòng)控制閥單獨(dú)控制。

3.4大型實(shí)驗(yàn)臺(tái)因使用的氣體種類較多,每個(gè)功能柱上裝有減壓閥等,通風(fēng)柜使用的空氣,氮?dú)怏w,由調(diào)壓閥減壓后接至各個(gè)通風(fēng)柜氣體考慮。

3.5注意事項(xiàng):管道中的閥門(mén)接口等采用VCR或自動(dòng)焊接方式,泄漏報(bào)警應(yīng)覆蓋到所有偵測(cè)范圍。大于12.7mm外徑的管道在拐彎時(shí)采用成品的焊接彎頭 焊接而成,不采用機(jī)械彎。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)不銹鋼氣路管道

4.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

實(shí)驗(yàn)室氣體管路施工方必須保證氣體管路系統(tǒng)的清潔，所有氣體管路的驗(yàn)收根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)程序進(jìn)行。所有接口方式均以自動(dòng)焊接方式，不允許法蘭和快裝等，管道切割時(shí)和切割后的潔凈度處理按照UPH管道施工的標(biāo)準(zhǔn).管道的焊接組裝10000級(jí)以上的無(wú)塵室里,帶好潔凈手套，首先將管的一端接上99.999% 的高純氬氣做吹掃，另一端打開(kāi)，用合適的出氣帽蓋上讓氣通過(guò),然后將調(diào)試好的焊接機(jī)接上焊接。嚴(yán)禁焊接中斷或調(diào)動(dòng)焊接氣體。為防止管道內(nèi)壁產(chǎn)生 氧化膜，可在焊接氣始端安一個(gè)0.01μm～0.03μm過(guò)濾器過(guò)濾，焊接好的管路兩頭應(yīng)用堵帽及時(shí)蓋上以防微粒進(jìn)入。自動(dòng)焊接需要資格證書(shū)或上崗證書(shū), 每日的焊接前必須提交焊接樣品和焊接數(shù)據(jù),焊接好的焊縫需要焊接人員簽字并列表,做到有資可查.氣體管路要做壓力強(qiáng)度和潔凈度檢驗(yàn)，防止管路泄漏 與污染。具體驗(yàn)收程序如下：

強(qiáng)度實(shí)驗(yàn)：管內(nèi)沖入高純氮?dú)馐箟毫_(dá)0.9Mpa，保持此壓力30min，壓力不降為合格。

氣密驗(yàn)收：管內(nèi)沖入高純氮?dú)馐箟毫_(dá)0.7Mpa，密閉不少于72小時(shí)，無(wú)壓降為合格。

穩(wěn)定性測(cè)試：在正常工作壓力情況下，開(kāi)啟所有使用設(shè)備，在流量穩(wěn)定的情況工作壓力波動(dòng)小于5%為合格。

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)不銹鋼氣路管道