產(chǎn)品品牌：

LINE TECH

產(chǎn)品型號(hào)：

M3030V/A

測(cè)量范圍：

1 m3/h

等級(jí)：

+/-1%

公稱(chēng)通徑：

6 mm

適用介質(zhì)：

氣體

工作壓力：

10 MPa

工作溫度：

0-50 ℃

   氣體質(zhì)量流量控制器 ( Mass Flow Controller簡(jiǎn)稱(chēng)MFC ) & 氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter簡(jiǎn)稱(chēng)MFM ) 能夠在較大的量程范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行高測(cè)量和控制。 應(yīng)用領(lǐng)域： 真空鍍膜設(shè)備 , 光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)用工具的表面鍍膜Sputter磁控濺射臺(tái), PVD, CVD , MOCVD, 氧化 , 等離子刻蝕 , 離子注入直拉式晶爐，精密的半導(dǎo)體產(chǎn) ,燃料電池,氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備,胞培養(yǎng)發(fā)酵罐設(shè)備精密氣體混合分析，熔煉設(shè)備器件滲漏偵查, 高壓相關(guān)產(chǎn)業(yè)反應(yīng)裝置，生物反應(yīng)器，生物過(guò)程控制器乳酸生產(chǎn)成套發(fā)酵系統(tǒng)設(shè)備醫(yī)療設(shè)備等等涉及到人工 電子或是電腦控制的氣體相關(guān)作業(yè)。